[发明专利]载体及使用该载体的基板的制造方法

说明书

提供一种载体及使用该载体的基板的制造方法，能够以比以往高的成品率得到高品质的基板。本发明的载体(104)是具有用于保持基板(例如，玻璃基板(102))的保持孔(122)的研磨用或磨削用的载体，其特征在于，在载体的至少一个表面上，在保持孔的周缘(130)以外的区域(126)设置有多个凹部(128)。

本申请基于专利法实施细则第42条提出，是申请日为2017年3月31日、申请号为201780003634.4(国际申请号：PCT/JP2017/013739)的发明专利申请“载体及使用该载体的基板的制造方法”的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种在对磁记录介质用基板和液晶屏幕用玻璃、硅晶片等板状基板的主表面进行研磨时使用的载体及使用该载体的基板的制造方法。

背景技术

近年来，伴随信息化技术的高度发展，信息记录技术，特别是磁记录技术显著进步。在作为磁记录介质之一的HDD(硬盘驱动器)等磁记录介质中，使用玻璃制基板或铝合金制基板作为基板。

对于基板的主表面，例如使用双面研磨装置对表面和背面同时进行研磨。在双面研磨装置中，例如使具有保持孔的载体保持基板，利用粘贴了研磨垫的上压盘和下压盘夹着载体。接着，一边向基板与研磨垫之间供给研磨液，一边使用行星齿轮机构等使被载体保持的基板与研磨垫相对移动，从而对基板的主表面整体进行均匀研磨。这种研磨方法能够同时研磨多个基板，因此从生产效率方面来说是优选的方法。

在该研磨方法中，在基板表面的研磨之后，使上压盘上升，从载体取出研磨后的基板。但是，具有如下问题，即在上压盘上升时，载体粘附于上压盘而抬起，之后从上压盘落下而落在基板上，会损伤基板的基板表面。

针对上述问题，在专利文献1和专利文献2中，使载体的表面和背面的表面粗糙度、表面和背面的接触角不同，从而防止载体向上压盘的粘附。

在先技术文献

专利文献1：特开2013－132744号公报

专利文献2：特开2013－132745号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在上述文献所记载的载体中，不可能充分抑制载体向上压盘的粘附。上述文献所记载的载体还具有制造成本高的问题。

本发明是鉴于上述情况而完成的，目的在于提供一种载体及使用该载体的基板的制造方法，其能够以比以往高的成品率得到高品质的基板。

用于解决问题的手段

发明人对上述问题的原因进行锐意研究之后，推测如下。即，载体的主表面与研磨垫的表面均为“树脂”这样的同种材料，原有的亲和性较高。此外，在研磨垫表面的树脂材料中使用比较软的树脂，因此容易跟随载体表面的形状，容易紧密贴合。因此，对于载体的主表面的粗糙度和起伏，在表面和背面多少有些差别，载体的主表面吸附于研磨垫的表面的吸附力未产生较大的差别，其结果是不能充分抑制载体向上压盘的粘附。

另外，在上述专利文献中，例如对载体的上表面进行冲压加工，从而形成粗糙度，但在该情况下，载体表面维持被树脂覆盖的状态。由此，本发明人对载体表面的材料和形状进行研究，考虑到能够使载体的表面和背面的吸附力比以往更大地变化，进而反复研究，从而完成本发明。

即，本发明的载体的代表性的结构为一种研磨用或磨削用的载体，具有用于保持基板的保持孔，其特征在于，在载体的至少一个表面的至少一部分区域存在多个以玻璃为主成分的突起。