[发明专利]水平式或直立式输送基板的传动机构及基板输送设备

权利要求书

1.一种水平式或直立式输送基板的传动机构，其特征在于，包括：

两个第一传动滚轮；

一第一网状履带，其连接两个第一传动滚轮，借此该两个第一传动滚轮沿该基板的一前进方向而带动该第一网状履带；

两个第二传动滚轮，其相对该两个第一传动滚轮而设置；以及

一第二网状履带，其连接两个第二传动滚轮，借此该两个第二传动滚轮也沿该基板的该前进方向而带动该第二网状履带；

其中只在该第一网状履带及该第二网状履带的两侧的边缘区域皆设置有多个埋入式磁块，当该第一网状履带及该第二网状履带的该些埋入式磁块彼此吸附时，该基板的两侧的边缘区域只被夹于该第一网状履带的两侧的边缘区域与该第二网状履带的两侧的边缘区域之间，借此该第一网状履带及该第二网状履带带动该基板前进；以及

该第一网状履带的一中央区域与该基板的一中央区域之间具有第一间距，该第二网状履带的一中央区域与该基板的该中央区域之间具有第二间距，借此该基板的该中央区域只在该第一网状履带的该中央区域与该第二网状履带的该中央区域的间距内移动或浮动。

2.如权利要求1所述的水平式或直立式输送基板的传动机构，其特征在于，该第一网状履带及该第二网状履带的材质为抗异物反沾材质。

3.如权利要求2所述的水平式或直立式输送基板的传动机构，其特征在于，该抗异物反沾材质为聚四氟乙烯、氟化乙烯丙稀共聚物、或过氟烷基化物。

4.如权利要求1所述的水平式或直立式输送基板的传动机构，其特征在于，该第一间距及该第二间距为2mm。

5.如权利要求1所述的水平式或直立式输送基板的传动机构，其特征在于，当该第一网状履带及该第二网状履带带动该基板前进时，该第一网状履带的边缘区域上的该些埋入式磁块与该第二网状履带的对应吸附的边缘区域上的该些埋入式磁块须具有相反磁性。

6.如权利要求1所述的水平式或直立式输送基板的传动机构，其特征在于，当该第一网状履带及该第二网状履带带动该基板前进时，该第一网状履带的边缘区域上的该些埋入式磁块具有磁性及导磁性的其中之一，而该第二网状履带的对应吸附的边缘区域上的该些埋入式磁块须具有磁性及导磁性的其中另一。

7.如权利要求5或6所述的水平式或直立式输送基板的传动机构，其特征在于，在该第一网状履带及该第二网状履带的同一侧的边缘区域上，相邻的该埋入式磁块之间的磁性相反。

8.如权利要求7所述的水平式或直立式输送基板的传动机构，其特征在于，在该第一网状履带及该第二网状履带的不同侧的边缘区域上，相对的两个该埋入式磁块之间的磁性也是相反。

9.一种基板输送设备，其特征在于，包括：

多个功能药水槽；

多个传动机构，其如权利要求1所述直立式输送基板的传动机构，并分别设置于该些功能药水槽内；

多个药水溢流空曝区，设置于该些功能药水槽的基板入口处外及基板出口处外；以及

多个挡水滚轮，设置于该些功能药水槽的基板入口处内外及基板出口处内外。

10.如权利要求9所述的基板输送设备，其特征在于，部分的该挡水滚轮位于该些药水溢流空曝区内。

11.如权利要求9所述的基板输送设备，其特征在于，该第一网状履带及该第二网状履带的材质为抗异物反沾材质。

12.如权利要求11所述的基板输送设备，其特征在于，该些挡水滚轮的材质为抗异物反沾材质。

13.如权利要求11或12所述的基板输送设备，其特征在于，该抗异物反沾材质为聚四氟乙烯、氟化乙烯丙稀共聚物、或过氟烷基化物。