[发明专利]斜面型金属化薄膜及其制备装置和加工方法有效

专利信息
申请号: 202011014591.X 申请日: 2020-09-24
公开(公告)号: CN112366081B 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 刘同林;汪秀义 申请(专利权)人: 铜陵市超越电子有限公司
主分类号: H01G4/005 分类号: H01G4/005;H01G4/33;H01G13/00
代理公司: 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 代理人: 周锋
地址: 244000 安徽省铜陵市狮子山*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 斜面 金属化 薄膜 及其 制备 装置 加工 方法
【权利要求书】:

1.适用于斜面型金属化薄膜的制备装置,其特征在于:所述斜面型金属化薄膜包括基膜(2),所述基膜(2)顶面设置有斜面型金属层(18),基膜(2)顶面一侧设置有留边(19),所述基膜(2)厚度均匀性为±0.01mm;

所述制备装置,包括机台(14),所述机台(14)顶面固定有箱体(3),机台(14)一端固定有卷绕机(1),箱体(3)内的机台(14)顶面设置有传送带(15),传送带(15)顶面贴合有基膜(2),所述箱体(3)内部设置有第一挡板(7)、第二挡板(10)和第三挡板(11),第一挡板(7)与箱体(3)分隔区域为冷却区,第一挡板(7)与第二挡板(10)分隔区域为热处理区,第二挡板(10)与第三挡板(11)分隔区为监测区,第三挡板(11)与箱体(3)分割区域为辊压区;

所述机台(14)顶面位于冷却区设置有第一冷却辊(4)、第二冷却辊(5)和限位辊(6),限位辊(6)设置于靠近第一挡板(7)处,第一冷却辊(4)设置于靠近箱体(3)处,第一冷却辊(4)和限位辊(6)之间设有第二冷却辊(5),第二冷却辊(5)与第一冷却辊(4)设置于不同高度,基膜(2)顶面贴合于第一冷却辊(4)底端,基膜(2)底面贴合于第二冷却辊(5)顶端;

所述机台(14)顶面位于热处理区设置有承压机构(16),所述承压机构(16)设置于传送带(15)顶部,箱体(3)位于承压机构(16)顶部贯穿设置有第一气动杆(8),第一气动杆(8)底端连接有压制机构(9);

所述机台(14)顶面位于辊压区也设有相同承压机构(16),箱体(3)位于所述承压机构(16)顶部贯穿设置有第二气动杆(12),第二气动杆(12)底端连接有辊压机构(13),辊压机构(13)包括固定箱(1301)、第三凸块(1302)和辊轮(1303),所述固定箱(1301)顶面连接第二气动杆(12),固定箱(1301)两侧分别设置有第三凸块(1302),固定箱(1301)底面嵌入转动连接有辊轮(1303);

所述机台(14)顶面位于监测区设置有红外检测仪(17),红外检测仪(17)与第一气动杆(8)和传送带(15)之间内部电性连接;

所述压制机构(9)包括固定板(901)和电热板(902),所述固定板(901)顶面连接于第一气动杆(8)底端,固定板(901)底面固定有电热板(902),固定板(901)两侧对称设置有第一凸块(9011),电热板(902)两侧对称设置有第二凸块(9021),固定板(901)与电热板(902)为相同形状重合固定。

2.根据权利要求1所述的适用于斜面型金属化薄膜的制备装置,其特征在于:所述承压机构(16)包括支撑柱(1601)、限位架(1602)和承载板(1604),所述支撑柱(1601)分别固定于传送带(15)两侧,两个位于传送带(15)同侧的支撑柱(1601)之间分别连接有限位架(1602),传送带(15)两侧的两个限位架(1602)之间连接有承载板(1604),限位架(1602)顶面靠近承载板(1604)一侧开设有限位槽(16021)。

3.根据权利要求2所述的适用于斜面型金属化薄膜的制备装置,其特征在于:所述承压机构(16)还包括支撑块(1603)和调节栓(1605),所述支撑块(1603)配合插接于限位槽(16021)内部,限位架(1602)一侧插接有调节栓(1605),调节栓(1605)一端与支撑块(1603)侧壁齿槽啮合。

4.根据权利要求3所述的适用于斜面型金属化薄膜的制备装置,其特征在于:加工方法包括以下步骤:

S1、高均匀性基膜制备;

S1.1、熔融塑化:将多种原料混合,再加热至160-170℃,形成熔融状态;

S1.2、铸片拉伸:将粘流态的熔体迅速冷却至140℃以下形成玻璃态铸片,再对铸片进行装夹拉伸,拉伸时铸片温度控制为60-85℃,拉伸后形成薄膜状态;

S1.3、水平均匀辊压:拉伸后薄膜状态的基膜(2)通过传送带(15)运输到辊压区内的承载板(1604)上,第二气动杆(12)推动固定箱(1301)下降,下降位置通过调节栓(1605)控制支撑块(1603)在限位槽(16021)内高度位置,固定箱(1301)上的第三凸块(1302)受支撑块(1603)限制,使固定箱(1301)内的辊轮(1303)与承载板(1604)间的距离为目标基膜(2)厚度,辊轮(1303)挤压基膜(2)表面,使基膜(2)形成水平均匀化平面;

S1.4、厚度实时监测:传送带(15)将经过辊压后的基膜(2)运输到监测区,监测区内的红外检测仪(17)对经过的基膜(2)进行厚度监测,红外检测仪(17)在使用前进行了检测厚度预设,厚度达标误差允许范围为±0.01mm;

S1.5、检测:红外检测仪(17)测量距离为150-300mm,精度为±0.1%,精度根据基膜(2)厚度来定;

S1.6、判断厚度是否达标:

是,进入步骤S1.8;

否,进入步骤S1.7;

S1.7、热处理压制:传送带(15)将基膜(2)运输到热处理区,红外检测仪(17)控制传送带(15)暂停,同步加热压制机构(9)中的电热板(902),并启动第一气动杆(8),推动压制机构(9)下降,使得电热板(902)上的第二凸块(9021)和固定板(901)上的第一凸块(9011)同步插入到承压 机构(16)中限位架(1602)上的限位槽(16021)内,使得第二凸块(9021)与支撑块(1603)相抵,保证电热板(902)与承载板(1604)之间的基膜(2)到达预设压制厚度,从而进一步精确加工的基膜(2)的水平均匀性和厚度均匀性,完成压制后启动传送带(15)继续运输;调节栓(1605)控制支撑块(1603)高度,使支撑块(1603)外伸出承载板(1604)顶面的厚度为目标基膜(2)厚度,完成压制厚度预设;

S1.8、冷却定型:传送带(15)将基膜(2)运输到冷却区,通过限位辊(6)后转向至第二冷却辊(5),对基膜(2)底面进行冷却,再转向至第一冷却辊(4),对基膜(2)顶面进行冷却;第一冷却辊(4)冷却温度为40℃,第二冷却辊(5)冷却温度为80℃;

S1.9、风冷收卷:将基膜(2)通过风冷为室温后,由卷绕机(1)进行收卷;

S2、斜面型金属层蒸镀加工:将收卷好的高均匀性的基膜(2)运至蒸镀室,将镀料金属熔化蒸发,对基膜(2)单侧的蒸镀口开设数量沿基膜(2)另一侧逐级递减,递减为零时与基膜(2)侧边还有一段距离,从而在均匀的基膜(2)表面形成均匀的斜面型金属层(18),并在基膜(2)顶面设有留边(19)。

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