[发明专利]显示面板及其制造方法、显示装置在审
申请号: | 202011011841.4 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN112103399A | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 张扬;刘宁;周斌;程磊磊;闫梁臣;刘军;王庆贺;孙涛;罗志文 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 杨广宇 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制造 方法 显示装置 | ||
本申请公开了一种显示面板及其制造方法、显示装置,属于显示技术领域。该方法包括:在基板上依次形成导电图形、发光层和阴极层。该导电图形可以包括:阳极层和辅助电极层,且该辅助电极层包括:沿垂直且远离基板的方向层叠设置的第一保护电极、金属电极和第二保护电极。由于该第二保护电极与第一保护电极在平行于基板的方向上均凸出于金属电极,因此,在第二保护电极上形成发光层时,该发光层仅会附着在第二保护电极,以及第一保护电极的边缘区域上,使得后续形成的阴极层可以与该金属电极的侧壁和第一保护电极接触,进而使得该显示面板的显示效果较好。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,特别涉及一种显示面板及其制造方法、显示装置。
背景技术
目前的有机电致发光(英文:Organic Light-Emitting Diode简称:OLED)显示面板通常包括阳极层、有机发光层和阴极层,根据发光面不同可分为底发射型OLED显示面板和顶发射型OLED显示面板两种,由于顶发射型OLED显示面板可以获得更大的开口率,近年来成为研究的热点。
顶发射型OLED显示面板需要薄且透明的阴极层和能够进行光反射的阳极层,以增加光的透过率,而薄且透明的阴极层普遍存在电阻值较高,电压降(IR drop)严重的问题。通常在阴极层中距离电源供给点越远的位置的电压降越明显,从而导致OLED显示面板有明显的发光不均匀的现象。
为了克服OLED显示面板中的阴极层中电压降严重的问题,需要在形成该OLED显示面板中的有机发光层和阴极层之前形成辅助电极,该辅助电极与后续形成的阴极层电连接,电源可以为辅助电极提供电信号,通过该辅助电极可以使阴极层中各个位置的电压相同。
在形成OLED显示面板中的阴极层之前,需要通过蒸镀工艺形成有机发光层。在通过蒸镀工艺形成有机发光层的过程中,该有机发光层容易附着在辅助电极上,影响辅助电极与后续形成的阴极层之间的电连接,进而导致该OLED显示面板的显示效果较差。
发明内容
本申请实施例提供了一种显示面板及其制造方法、显示装置。可以解决现有技术中的OLED显示面板的显示效果较差的问题,所述技术方案如下:
一方面,提供了一种显示面板的制造方法,所述方法包括:
在基板上通过一次构图工艺形成导电图形,所述导电图形包括:阳极层和辅助电极层,所述辅助电极层包括:沿垂直且远离所述基板的方向层叠设置的第一保护电极、金属电极和第二保护电极,沿平行于所述基板的方向,所述第一保护电极与所述第二保护电极均凸出于所述金属电极,所述第二保护电极在所述基板上的正投影位于所述第一保护电极在所述基板上的正投影内,且沿平行于所述基板的方向,所述第二保护电极的边界与所述第一保护电极的边界错开;
在所述导电图形上形成发光层;
在所述发光层上形成阴极层,所述阴极层与所述第一保护电极接触,且与所述金属电极的侧壁接触。
可选的,所述在基板上通过一次构图工艺形成导电图形,包括:
在所述基板上依次形成第一导电薄膜、第二导电薄膜和第三导电薄膜;
在所述第三导电薄膜上形成第一光刻胶图案;
对所述第三导电薄膜进行第一刻蚀处理,得到第一子导电图形;
对所述第二导电薄膜进行第二刻蚀处理,得到第二子导电图形;
对所述第一光刻胶图案进行灰化处理,以去除所述第一光刻胶图案中的边缘部分,得到第二光刻胶图案;
对所述第一子导电图形进行第三刻蚀处理,得到第三子导电图形,所述第三子导电图形包括:所述第二保护电极;
对所述第一导电薄膜进行第四刻蚀处理,得到第四子导电图形,所述第四子导电图形包括:所述第一保护电极;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择