[发明专利]一种激光能量的调节装置

权利要求书

1.一种激光能量调节装置，其特征在于，所述装置包括：PC端以及与所述PC端连接的多个激光产生单元，所述多个激光产生单元中每个激光产生单元的输出端连接一一对应的第一能量监控器，所述第一能量监控器的输出端都与所述PC端的输入端连接；

所述第一能量监控器用于检测所述激光产生单元输出的激光的第一能量值，并将所述第一能量值反馈给所述PC端；

若所述PC端确定所述第一能量值与预设能量值不相同，则确定所述第一能量值与所述预设能量值的第一差值，并基于所述第一差值与所述激光产生单元的内部电压的对应关系向所述激光产生单元发送第一控制指令；

所述激光产生单元基于所述第一控制指令调整自身内部电压以使输出的激光能量达到所述预设能量值。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，每个所述激光产生单元包括依次连接的高压电源、全固态脉冲发生器以及准分子激光器，所述准分子激光器的输出端与对应的第一能量监控器连接；

所述高压电源与所述PC端连接，用于根据所述第一控制指令向所述全固态脉冲发生器输出第一电压；

所述固态脉冲发生器基于预设的放大倍数对所述第一电压进行放大并达到第二电压时向所述准分子激光器放电；

所述准分子激光器内的多种反应气体在放电作用下产生所述预设能量值的激光。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

衰减器，所述衰减器的第一输入端与所述激光产生单元的输出端连接，所述衰减器的第二输入端与所述PC端的输出端连接，所述激光产生单元与所述衰减器一一对应，所述衰减器在初始状态下透光率为最大；

所述第一能量监控器还用于检测经所述第一控制指令调节后的所述激光产生单元输出的激光的第二能量值，并将所述第二能量值反馈给所述PC端；

若所述PC确定所述第二能量值大于所述预设能量值，则确定所述第二能量值与所述预设能量值的第二差值，并基于所述第二差值与所述衰减器的透光率的对应关系向所述衰减器发送第二控制指令；

所述衰减器基于所述第二控制指令调整自身透光率使所述第二能量值衰减至所述预设能量值。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

与衰减器的输出端一一对应连接的第二能量监控器，所述第二能量监控器的输出端与所述PC端的输入端连接；

所述第二能量监控器用于检测经所述衰减器后的激光的第三能量值，并将所述第三能量值反馈给所述PC端；

若所述PC端确定同一时刻所述第三能量值小于所述第二能量值，则确定所述第三能量值与所述预设能量值的第三差值，并基于所述第三差值与所述衰减器的透光率的对应关系向所述衰减器发送所述第二控制指令；

所述衰减器基于所述第二控制指令调整自身的透光率，以使所述第三能量值的激光衰减至所述预设能量值。

5.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述衰减器包括：

第一压电陶瓷，与所述PC端的输出端连接，用于接收所述第二控制指令并使自身发生形变；

衰减镜片，与所述第一压电陶瓷连接，用于根据所述第一压电陶瓷的形变量与所述衰减镜片的倾斜角的第一对应关系使自身的倾斜角变化至第一倾斜角，以使所述第二能量值的激光中部分激光穿过所述衰减镜片，其中，所述衰减镜片的倾斜角与所述衰减镜片的透光率相关。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述衰减器还包括：

第二压电陶瓷，与所述PC端的输出端连接，用于接收所述第二控制指令并使自身发生形变，所述第二压电陶瓷的形变量与所述第一压电陶瓷的形变量相同；

光路校正镜片，与所述第二压电陶瓷连接，用于根据所述第二压电陶瓷的形变量与所述光路校正镜片的倾斜角的第二对应关系使自身的倾斜角变化至第二倾斜角，以使经所述衰减镜片折射后的激光光线恢复为原始方位，其中，所述原始方位为所述激光光线射入所述衰减镜片之前的方位，所述第一倾斜角与所述第二倾斜角的补角和为90度，所述第一对应关系与所述第二对应关系相同。