[发明专利]一种划片机的自动对准Y、T平分算法在审

专利信息
申请号: 202010964342.0 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN112331560A 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 孟繁滨;周健宇;胡泊 申请(专利权)人: 沈阳和研科技有限公司
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304;H01L21/67
代理公司: 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 代理人: 张晨
地址: 110000 辽*** 国省代码: 辽宁;21
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 划片 自动 对准 平分 算法
【说明书】:

发明涉及砂轮划片机,特别提供一种划片机的自动对准Y、T平分算法,具体步骤为:显微镜运动到芯片位置,分别抓取对应每个block四角的标识点;将每个block的左边上下、右边上下两个标识点按切割条数与步进平分;通过步骤二得到的每条切割道的起始和终点坐标计算每个切割道的T位置;将步骤二得到的位置按角度进行旋转,得到与T相对应的Y位置;根据每一切割刀的Y、T位置进行产品切割。本发明对于目前存在线性拉伸芯片的对准问题,通过搭载高低倍率显微镜、旋转工作台、伺服电机,实时采集工件图像,对每个block采集四点,同时在Y、T两个方向进行位置的平均划分,既保证了对准的效率,又保证了对准的精度。

技术领域

本发明涉及砂轮划片机,特别提供一种划片机的自动对准Y、T平分算法。

背景技术

block为切割板材中所要切割的基本单元集中在一起的一块区域,和其他相同区域有明显的分割界限,当划片机在自动对准多block的芯片时,由于其block都在三个以上,通常会对准每个block的首条切割道,这样每个block以首刀为基准,对剩下的切割道位置按一定的步进进行推算。当block的形变不是很大时,该方法不存在问题。在实际情况中由于工艺问题,此种芯片情况通常发生形变,即在四个角方向存在一定的拉伸,这时当前的对准方法就生效了,导致切割出刀痕在产品上看是斜的且位置也是不准的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种即保证对准的效率、又保证对准的精度划片机的自动对准Y、T平分算法。

本发明技术方案如下:

本发明的平分算法建立在划片机的运动与图像识别系统之上,划片机的运动系统主要由X、Y、Z、T轴组成,其中T轴表示旋转轴,上面有工作台,T轴固定在X轴上,X轴可以左右运动,显微镜固定在Y轴上,Y轴可以前后运动,Z轴固定在Y上,可以上下运动。该算法在自动对准过程中完成,首先识别每个block四角的标识点,在将block左边两点和右边两点分别在Y方向进行平分,最后根据Y平分结果进行T平分。

本发明提供了一种划片机的自动对准Y、T平分算法,具体步骤为:

步骤一:显微镜运动到芯片位置,分别抓取对应每个block四角的标识点;

步骤二:将每个block的左边上下、右边上下两个标识点按切割条数与步进平分;

步骤三:通过步骤二得到的每条切割道的起始和终点坐标计算每个切割道的T位置;

步骤四:将步骤二得到的位置按角度进行旋转,得到与T相对应的Y位置;

步骤五:根据每一切割刀的Y、T位置进行产品切割。

本发明对于目前存在线性拉伸芯片的对准问题,通过搭载高低倍率显微镜、旋转工作台、伺服电机,实时采集工件图像,对每个block采集四点,同时在Y、T两个方向进行位置的平均划分,即使芯片变形也会按照正确的位置进行切割,同检测每一条切割道的对准标识的方法相比,大大减小了对准的时间,既保证了对准的效率,又保证了对准的精度。

附图说明

图1为本发明提供的具有三个block的芯片示意图(其中十字星为对准的标识点,实线箭头代表了每个block需要对准的轨迹,两个带箭头实线之间即为一个block)。

具体实施方式

实施例1

本发明的平分算法建立在划片机的运动与图像识别系统之上,划片机的运动系统主要由X、Y、Z、T轴组成,其中T轴表示旋转轴,上面有工作台,T轴固定在X轴上,X轴可以左右运动,显微镜固定在Y轴上,Y轴可以前后运动,Z轴固定在Y上,可以上下运动。该算法在自动对准过程中完成,首先识别每个block四角的标识点,在将block左边两点和右边两点分别在Y方向进行平分,最后根据Y平分结果进行T平分。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳和研科技有限公司,未经沈阳和研科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010964342.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top