[发明专利]一种多芯片封装结构有效
申请号: | 202010962518.9 | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN112133817B | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 张诺寒;廖勇军;张坤 | 申请(专利权)人: | 东莞市谷麦光学科技有限公司;谷麦光电科技股份有限公司;信阳市谷麦光电子科技有限公司;信阳中部半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/64 | 分类号: | H01L33/64;H01L25/075;H01L33/06;H01L33/58;H01L33/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 结构 | ||
1.一种多芯片封装结构,其特征在于:包括散热底座(1)以及与散热底座(1)连接的封装座(2);所述封装座(2)内设有多个发光芯片(3);
所述散热底座(1)内设有循环水槽(11);所述循环水槽(11)内设有冷却液;所述散热底座(1)设有与循环水槽(11)连通的散热水槽(12);所述散热水槽(12)设于发光芯片(3)的底部;
所述散热底座(1)内设有第一通风槽(41);所述发光芯片(3)设有与第一通风槽(41)连通的第二通风槽(42);所述封装座(2)设有与第二通风槽(42)连通的第三通风槽(43);
循环水槽(11)以水管的方式穿设在各个第一通风槽(41)中;第一通风槽(41)与循环水槽(11)之间设有密封槽;
所述发光芯片(3)包括金属衬底(31)以及设于金属衬底(31)顶部的缓冲层(32);所述缓冲层(32)的顶部设有圆柱状的N-GaAs纳米棒层(51);所述N-GaAs纳米棒层(51)的外周设有中空的圆柱状的多量子阱有源层(52);所述多量子阱有源层(52)的外周设有中空的圆柱状的P-GaAs纳米棒层(53);所述N-GaAs纳米棒层(51)延伸有N型电极(54);所述P-GaAs纳米棒层(53)延伸有P型电极(55);
所述发光芯片(3)还包括微透镜(6);所述缓冲层(32)、N-GaAs纳米棒层(51)、多量子阱有源层(52)以及P-GaAs纳米棒层(53)均设于微透镜(6)与金属衬底(31)之间;
所述微透镜(6)包括设于中部的球形面(61)、设于球形面(61)两侧的锥面(62)以及设于锥面(62)远离球形面(61)一侧的非球面(63);所述N-GaAs纳米棒层(51)设于球形面(61)中部的正下方;所述多量子阱有源层(52)设于锥面(62)中部的正下方;
所述第二通风槽(42)设于金属衬底(31)内;所述散热水槽(12)设于金属衬底(31)的底部;所述第三通风槽(43)设于相邻两个发光芯片(3)之间;
所述多量子阱有源层(52)包括V形部(91)以及与V形部(91)连接的梯形部(92);所述V形部(91)靠近P-GaAs纳米棒层(53)设置;所述梯形部(92)靠近N-GaAs纳米棒层(51)设置;
所述封装座(2)由有机硅灌封胶固化而成,所述有机硅灌封胶包括如下重量份数的原料:
A组分
B组分
第二端乙烯基硅油 100份
MQ硅树脂 30-40份
铂催化剂 0.2-0.4份;
其中,所述A组分和B组分的重量配比为1∶1;
其中,所述复合填料通过如下方法制得:
(1)将纳米二氧化硅进行脱水干燥,然后加入甲苯中进行超声分散20-30min后,加入硅烷偶联剂kh560,继续超声分散3-5min,转移至带有回流冷凝管的三口烧瓶中,升温至80-90℃后保温反应5-7h,冷却之后进行离心分离,洗涤干燥,即得到改性纳米二氧化硅;其中,所述纳米二氧化硅、硅烷偶联剂kh560和甲苯的重量比为5-6∶2-3∶100;
(2)将去离子水升温至80-90℃,往第三端乙烯基硅油加入三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、span-60和tween-60,搅拌均匀后升温至80-90℃,在10000-12000r/min的搅拌条件下逐渐加入去离子水,然后在500-700r/min的搅拌条件下降至室温,得到纳米硅油乳液;其中,所述去离子水、第三端乙烯基硅油、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、span-60和tween-60的重量比为60-80∶20-30∶1-3∶5-9∶5-9;
(3)将所述纳米硅油乳液置于钴源辐照装置中进行第一次辐照,辐照剂量为10-20kGy,然后加入改性纳米二氧化硅,搅拌均匀后继续进行辐照,辐照剂量为10-15kGy,然后进行喷雾干燥,喷雾压力值为0.1-0.2MPa,喷雾入口温度为130-150℃,喷雾出口温度为50-70℃,即得到所述复合填料;其中,所述改性纳米二氧化硅与纳米硅油乳液的重量比为2-3∶10。
2.根据权利要求1所述的一种多芯片封装结构,其特征在于:所述封装座(2)的顶部设有多个与发光芯片(3)对应设置的光学透镜(7);所述光学透镜(7)的中部向内凹陷形成有凹槽(71)。
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