[发明专利]加工装置在审
申请号: | 202010960646.X | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN112519012A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 松田智人;政田孝行;北浦毅 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加工 装置 | ||
1.一种加工装置,其具有:
保持单元,其对被加工物进行保持;以及
加工单元,其对该保持单元所保持的被加工物实施加工,
其中,
该加工装置具有:
第一盒载置台,其载置能够收纳多个该被加工物的第一盒;
第二盒载置台,其载置能够收纳多个该被加工物的第二盒;
第一定位单元,其将该第一盒载置台定位于交接位置和第一盒退避位置;
第二定位单元,其将该第二盒载置台定位于该交接位置和第二盒退避位置;以及
搬送单元,其在该交接位置与该保持单元之间搬送被加工物,
该交接位置和该第一盒退避位置在Z方向上相邻地配置,
该交接位置和该第二盒退避位置在与该Z方向垂直的X方向上相邻地配置。
2.根据权利要求1所述的加工装置,其中,
该加工装置具有至少对该第一定位单元和该第二定位单元进行控制的控制单元,
该控制单元按照将该第一盒载置台和该第二盒载置台分别定位于该交接位置的方式对该第一定位单元和该第二定位单元进行控制,以便将利用该加工单元实施了加工的被加工物搬入至该第一盒和该第二盒中的原本收纳该被加工物的盒中。
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