[发明专利]曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法

权利要求书

1.一种曝光装置，一边使投影光学系相对物体在扫描方向上移动，一边经由该投影光学系对该物体照射光以对该物体进行扫描曝光，其特征在于其具备：

标记检测部，其在该扫描方向上设在该投影光学系的一侧，检测在该扫描方向上设在该物体的不同位置的第1标记及第2标记；以及

控制装置，使该投影光学系及该标记检测部沿着该扫描方向移动；

该控制装置以该投影光学系与该标记检测部彼此不接触的方式，

使该标记检测部移动至能检测配置于该物体的第1区划区域的附近的该第1标记的第1位置、与能检测配置于在该扫描方向上与该物体的该第1区划区域并列的第2区划区域的附近的该第2标记的第2位置的各个，

基于由该标记检测部所检测的该第1标记的检测结果，使该投影光学系相对该第1区划区域移动，

基于由该标记检测部所检测的该第2标记的检测结果，使该投影光学系相对该第2区划区域移动。

2.一种曝光装置，一边使投影光学系相对物体在扫描方向上移动，一边经由该投影光学系对该物体照射光以对该物体进行扫描曝光，其特征在于其具备：

标记检测部，其在该扫描方向上设在该投影光学系的一侧，检测在该扫描方向上设在该物体的不同位置的第1标记及第2标记；以及

控制装置，使该投影光学系及该标记检测部沿着该扫描方向移动；

该控制装置以使该投影光学系与该标记检测部的间隔相距既定距离以上的方式，

使该标记检测部移动至能检测配置于该物体的第1区划区域的附近的该第1标记的第1位置、与能检测配置于在该扫描方向上与该物体的该第1区划区域并列的第2区划区域的附近的该第2标记的第2位置的各个，

基于由该标记检测部所检测的该第1标记的检测结果，使该投影光学系相对该第1区划区域移动，

基于由该标记检测部所检测的该第2标记的检测结果，使该投影光学系相对该第2区划区域移动。

3.一种曝光装置，一边使投影光学系相对物体在扫描方向上移动，一边经由该投影光学系对该物体照射光以对该物体进行扫描曝光，其特征在于其具备：

标记检测部，其在该扫描方向上设在该投影光学系的一侧，检测在该扫描方向上设在该物体的不同位置的第1标记及第2标记；以及

控制装置，使该投影光学系及该标记检测部沿着该扫描方向移动；

该控制装置以该投影光学系停止移动的停止位置、与该标记检测部停止移动的停止位置不重叠的方式，

使该标记检测部移动至能检测配置于该物体的第1区划区域的附近的该第1标记的第1位置、与能检测配置于在该扫描方向上与该物体的该第1区划区域并列的第2区划区域的附近的该第2标记的第2位置的各个，

基于由该标记检测部所检测的该第1标记的检测结果，使该投影光学系相对该第1区划区域移动，

基于由该标记检测部所检测的该第2标记的检测结果，使该投影光学系相对该第2区划区域移动。

4.一种曝光装置，一边使投影光学系相对物体在扫描方向上移动，一边经由该投影光学系对该物体照射光以对该物体进行扫描曝光，其特征在于其具备：

标记检测部，其在该扫描方向上设在该投影光学系的一侧，检测在该扫描方向上设在该物体的不同位置的第1标记及第2标记；以及

控制装置，使该投影光学系及该标记检测部沿着该扫描方向移动；

该控制装置以使该投影光学系的移动开始时序与该标记检测部的移动开始时序相异的方式，

使该标记检测部移动至能检测配置于该物体的第1区划区域的附近的该第1标记的第1位置、与能检测配置于在该扫描方向上与该物体的该第1区划区域并列的第2区划区域的附近的该第2标记的第2位置的各个，

基于由该标记检测部所检测的该第1标记的检测结果，使该投影光学系相对该第1区划区域移动，

基于由该标记检测部所检测的该第2标记的检测结果，使该投影光学系相对该第2区划区域移动。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于其进而具备：

第2检测部，其在该扫描方向上设在该投影光学系的另一侧；

该控制装置，一边基于由该标记检测部所检测的该第1标记及该第2标记的检测结果使该投影光学系移动于该一侧，一边使该第2检测部以不接触该投影光学系的方式往该一侧移动。