[发明专利]一种PERC电池片的制备方法

说明书

本发明公开了一种PERC电池片的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗、制绒；(2)扩散和激光推进；(3)刻蚀抛光和去磷硅玻璃；(4)对抛光后的单晶硅片背面进行Al₂O₃原子沉积；(5)将背钝化后的单晶硅片进行正面镀膜；(6)将正面镀膜后的单晶硅片进行背面镀膜；(7)将背面镀膜后的单晶硅片进行激光开槽；(8)丝网印刷、烧结，制得PERC电池片。本发明PERC电池片的制备方法简单，可以减少硅片晶格缺陷，提升少子寿命，使得硅片背表面的钝化效果更好，进而提升电池片转换效率。

技术领域

本发明属于PERC电池技术领域，更具体的说是涉及一种PERC电池片的制备方法。

背景技术

PERC电池(PassivatedEmitterandRearCell)，是电池的一种结构。PERC电池转换效率高，生产成本低，已成为当前电池片制造行业的主流工艺。该技术的核心是在硅片的背面沉积一层氧化铝薄膜，并用氮化硅膜覆盖，实现硅片的背表面钝化，使长波响应得到提高，进而提升电池片转换效率。

目前，现有技术主要采用原子层沉积(ALD)和等离子增强型化学气相沉积(PECVD)，可以对硅片表面实现较好的钝化，降低硅片表面的少子复合。现有技术一般在200℃左右的温度下沉积氧化铝薄膜，由于反应温度低，反应时间短，膜层的致密性和负电场效果不佳，现有的制备工艺无法使得氧化铝薄膜钝化效果发挥到最佳。

因此，研发一种减少硅片晶格缺陷，提升少子寿命，使得硅片背表面的钝化效果更好，进而提升电池片转换效率的PERC电池片的制备方法是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种PERC电池片的制备方法。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种PERC电池片的制备方法，包括以下步骤：

(1)清洗去除原硅片的切割损失层及金属杂质，并制绒形成金字塔绒面层；

(2)将制绒后的单晶硅片置入扩散设备中进行扩散制结，形成PN结层，并在单晶硅片PN结层表面进行激光推进；

(3)将激光推进后的单晶硅片进行刻蚀清洗，去除边缘的磷硅玻璃，并将单晶硅片背面进行抛光，去除背面的PN结层；

(4)对抛光后的单晶硅片背面进行Al₂O₃原子沉积，形成背钝化；

(5)将背钝化后的单晶硅片进行正面镀膜；

(6)将正面镀膜后的单晶硅片进行背面镀膜；

(7)将背面镀膜后的单晶硅片进行激光开槽；

(8)在激光开槽后的单晶硅片正面印刷银浆，经过高温烧结，制得PERC电池片。

进一步，步骤(1)中，上述去除原硅片的切割损失层及金属杂质的重量为0.38-0.58g。

采用上述进一步的有益效果是：保证金字塔绒面的均匀性；

进一步，步骤(2)中，上述PN结层表面方阻为120-160Ω。

采用上述进一步的有益效果是：保证扩散方阻的均匀性；

进一步，步骤(2)中，上述激光推进深度0.05μm，线宽为70-130μm。

采用上述进一步的有益效果是：实现金属化区域高浓度掺杂，光照区域低浓度掺杂；

进一步，步骤(3)中，上述刻蚀减薄量为0.25g-0.35g。

采用上述进一步的有益效果是：去除表面的磷硅玻璃，实现背面抛光去结；