[发明专利]一种具有接地环的堆叠封装件及其加工方法有效

专利信息
申请号: 202010953861.7 申请日: 2020-09-11
公开(公告)号: CN112151510B 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 黄晓波;沈田 申请(专利权)人: 安徽龙芯微科技有限公司
主分类号: H01L23/60 分类号: H01L23/60;H01L21/50
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 刘生昕
地址: 243000 安徽省马*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 接地 堆叠 封装 及其 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种具有接地环的堆叠封装件,包括封装件主体(1)、安装槽(2)、滑槽(3)、导向槽(4)、第一收纳槽(5)、电机(6)、齿轮(7)、齿条(8)、滑块(9)、固定杆(10)、铰接套圈(11)、连接板(12)、接地环(13)、第二收纳槽(14)和转动轴(15),所述封装件主体(1)的一侧内壁上开设有安装槽(2),所述安装槽(2)的底端内壁上分布镶嵌安装有电机(6),所述安装槽(2)的一侧内壁上分布安装有齿轮(7),且电机(6)的输出轴一端固接于齿轮(7)的内部,所述齿轮(7)的一侧外壁上分布啮合连接有齿条(8),所述齿条(8)的底端外壁上分布焊接固定有滑块(9),所述安装槽(2)的底端内壁上对应滑块(9)开设有滑槽(3),所述安装槽(2)的一侧内壁上对应齿条(8)开设有导向槽(4),所述封装件主体(1)位于导向槽(4)一侧的外壁上开设有第一收纳槽(5),所述第一收纳槽(5)的一侧内壁上分布套接固定有接地环(13),所述接地环(13)的两侧外壁上对称开设有第二收纳槽(14),所述第二收纳槽(14)的一侧内壁上安装有连接板(12),所述连接板(12)的两侧外壁上转动连接有转动轴(15),且转动轴(15)的另一端转动连接于第二收纳槽(14)的内部,所述连接板(12)之间的外壁上焊接固定有铰接套圈(11),所述齿条(8)的顶端一侧外壁上对应铰接套圈(11)焊接固定有固定杆(10);

所述接地环(13)通过铰接套圈(11)使连接板(12)沿着第二收纳槽(14)内的转动轴(15)进行展开。

2.根据权利要求1所述的一种具有接地环的堆叠封装件,其特征在于:所述接地环(13)的一侧外壁上分布开设有连接孔(16)。

3.根据权利要求1所述的一种具有接地环的堆叠封装件,其特征在于:所述封装件主体(1)的顶端外壁上分布开设有引线槽(17),所述封装件主体(1)位于引线槽(17)之间的顶端外壁上开设有放置槽(18)。

4.根据权利要求1所述的一种具有接地环的堆叠封装件,其特征在于:所述电机(6)为一种伺服电机。

5.一种如权利要求1-4任一项所述具有接地环的堆叠封装件的加工方法,步骤一,晶圆减薄;步骤二,晶圆划片;步骤三,上芯压焊;步骤四,塑封机后固化;步骤五,电镀打印;步骤六,成型分离;步骤七,测试包装;其特征在于:

其中在上述步骤一中,利用减薄机对晶圆进行减薄,使晶圆厚度最后得到140μm-195μm,并且消除应力清洗干净,并在背面粘贴胶膜;

其中在上述步骤二中,利用划片机对减薄后的晶圆进行划片操作,切片的进刀速度控制在8-10mm/s之间,并且及时清洗烘干;

其中在上述步骤三中,去载体和接地环构成的引线框架,并且使接地环套接在载体的中部,并且通过卡槽进行连接固定,然后进行第一次上芯操作,在载体上粘接第一芯片,利用点胶头将第一芯片粘附于芯片安装区,然后进行第一次上芯烘烤,将粘接完毕的引线框架放到烘箱中进行烘烤,然后在进行第二次上芯,在具有胶膜处的第二芯片晶圆安装引线框架内部,然后将其温度加热到120摄氏度,完成第二次上芯烘烤,第二次上芯后,利用金线或者铜线,采用反打方式依次压焊第二芯片和第一芯片间的键合线,使弧高控制在130-150μm之间;

其中在上述步骤四中,采用环保型塑封材料,对上芯后的引线框架进行塑封,然后在175摄氏度的烘箱内部进行后固化处理,将其进行老化操作;

其中在上述步骤五中,采用自动电镀线对封装件及外漏的铜合金电镀引线进行镀锡的过程,使其铜合金电镀引线表面镀上焊锡,镀层厚度为11±3.81μm,并且采用连续送料进行定位打印,使封装件上进行标示;

其中在上述步骤六中,采用切筋模具对封装件切筋操作,使封装件进行成型分离;

其中在上述步骤七中,采用测试机,进行外观及功能参数的测试,然后包装入库。

6.根据权利要求5所述的一种具有接地环的堆叠封装件的加工方法,其特征在于:所述步骤一,在减薄过程中,还需要进行粗加工打磨和精加工打磨。

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