[发明专利]用于反应物蒸发系统的加热区分离

说明书

与温度区控制系统相关的系统和方法可以包括构造成至少部分抽空的反应物源柜、构造成将固体源化学反应物保持在其中的容器基部以及联接到容器基部的远侧部分的盖。所述盖可以包括一个或多个盖阀。所述系统可以进一步包括多个气体面板阀，所述多个气体面板阀构造成将气体从气体源输送到容器。所述系统可以包括构造成加热一个或多个盖阀的加热元件。所述系统可以包括挡热板，挡热板的第一部分设置于一个或多个盖阀与容器基部之间。挡热板的第二部分可以设置于第一加热元件与多个气体面板阀之间。

通过引用任何优先权申请并入

根据37 CFR 1.57，其中外国或本国优先权要求在与本申请一起提交的申请数据表中被识别出的任何和所有申请特此以引用的方式并入本文中。

背景

典型的固体或液体源反应物输送系统设置于包括一个或多个加热元件和/或冷却元件的系统内。容器可以包括待汽化的化学反应物。载气将反应物蒸汽与其一起传送穿过容器出口并最终到达反应室。

技术领域

本申请一般涉及牵涉半导体处理设备的系统和方法，并且具体涉及用于化学蒸汽输送的汽化系统。

发明内容

温度区控制系统的一些实施例可以包括构造成至少部分地抽空的反应物源柜。所述系统可以包括容器基部，所述容器基部构造成在其中保持固体源化学反应物。容器基部还可以构造成设置在反应物源柜内。该系统可以包括联接到容器基部的远侧部分的盖，并且盖可以包括一个或多个盖阀。所述系统可以包括多个气体面板阀，所述多个气体面板阀构造成将气体从气体源输送到容器。所述系统可以包括构造成加热所述一个或多个盖阀的第一加热元件(例如加热器)。所述系统可以包括挡热板，所述挡热板包括第一部分和第二部分。第一部分可以设置在一个或多个盖阀与容器基部之间。第二部分可以设置在第一加热元件与多个气体面板阀之间。挡热板可以构造成通过例如防止、抑制或减少(相对于没有挡热板的相当系统)热从盖到容器基部的传递来阻止从盖阀到容器基部的热传递。

在附图和以下描述中阐述了本说明书中描述的主题的一个或多个实施方式的细节。根据说明书、附图和权利要求，其它特征、方面和优点将变得显而易见。该发明内容和以下具体实施方式都不旨在限定或限制本发明主题的范围。

附图说明

鉴于以下描述，所附权利要求以及附图，本公开的这些和其它方面对于技术人员将是显而易见的，所述附图旨在说明而非限制本发明，并且其中：

图1示出了根据一些构造的示例性温度区控制系统。

图2示出了根据一些构造的温度区控制系统的另一个实例。

图3示出了根据一些构造的温度区控制系统的透视图。

图4示出了图3的温度区控制系统的侧面透视图。

图5示出了图3的温度区控制系统的后部透视图。

图6示出了具有反应物源柜的温度区控制系统的前部透视图。

图7示出了根据一些构造的反应物源柜内的挡热板的透视图。

图8示出了根据一些构造的挡热板的透视图。

图9示出了根据一些实施例的控制反应物源柜内的热传递的方法。

具体实施方式

本文提供的标题(如果有的话)仅为了方便而不一定影响要求保护的发明的范围或含义。本文描述了用于在高容量沉积模块中输送汽化或升华的反应物的系统和相关方法。

以下详细描述详述了某些特定实施例以帮助理解权利要求。然而，人们可以在权利要求所定义和涵盖的多种不同实施例和方法中实施本发明主题。