[发明专利]用于反应物蒸发系统的加热区分离

权利要求书

1.一种温度区控制系统，其包括：

构造成至少部分地抽空的反应物源柜；

构造成将固体源化学反应物保持在其中的容器基部，所述容器基部构造成设置在所述反应物源柜内；

联接到所述容器基部的远侧部分的盖，所述盖包括一个或多个盖阀；

构造成将气体从气源输送至所述容器的多个气体面板阀；

构造成加热所述一个或多个盖阀的第一加热元件；以及

挡热板，所述挡热板的第一部分设置在所述一个或多个盖阀与所述容器基部之间，并且所述挡热板的第二部分设置在所述第一加热元件与所述多个气体面板阀之间，所述挡热板构造成阻止从所述盖阀到所述容器基部的热传递。

2.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括冷却元件，所述冷却元件与所述容器基部的近侧部分热连通，并且构造成优先地冷却所述容器基部的近侧部分，从而从所述容器基部的近侧部分到远侧部分建立温度梯度。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述挡热板的第一部分包括第一板，并且所述挡热板的第二部分包括第二板，所述第一板设置成与所述第二板成角度。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述第一面板设置在所述一个或多个盖阀与所述容器基部之间，并且其中所述第二板设置成大致平行于所述容器基部的轴线。

5.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括第二加热元件，所述第二加热元件设置成使得所述第二板设置于所述一个或多个盖阀与所述多个气体面板阀之间。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述挡热板构造成阻止热传递到所述容器基部，使得从所述第一加热元件到所述一个或多个盖阀的热传递速率与从所述第一加热元件到所述容器基部的热传递速率之比大于约5。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述挡热板的部分构造成设置在所述一个或多个盖阀与所述盖的至少一部分之间。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一加热元件构造成将所述一个或多个盖阀保持在第一阈值温度以上，而不使所述容器基部升高到低于所述第一阈值温度的第二阈值温度以上。

9.根据权利要求10所述的系统，其中与所述第一加热元件结合的所述冷却元件将所述一个或多个盖阀保持在第一阈值温度以上，而不使所述容器基部升高到低于所述第一阈值温度的第二阈值温度以上。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个盖阀中的每一个盖阀包括构造成防止颗粒物质通过其中的相应过滤器。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述多个过滤器中的至少一个过滤器的孔隙度构造成在阈值温度以下防止所述反应物通过其中，并且在所述阈值温度以上允许所述反应物通过其中。

12.一种控制反应物源柜内的热传递的方法，所述方法包括：

经由所述容器的盖的入口将载气连续地流入容器基部中；

将热从所述反应物源柜的加热元件传递到所述盖的入口，其中包括设置在所述入口与所述容器基部之间的第一部分的挡热板阻止从所述加热元件到所述容器基部的热传递，使得所述入口保持在高于所述容器基部的温度；

汽化所述容器基部中的载气中的化学前体；以及

使经汽化的化学反应物通过所述盖的出口流至反应室。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述反应物源进一步包括构造成使所述载气流动到所述容器的多个气体面板阀，所述方法进一步包括加热所述多个气体面板阀，其中设置于(i)包括所述第二加热元件和多个气体面板阀的第一区与(ii)包括所述入口和所述出口的第二区之间的所述挡热板的第二部分阻止从第二加热元件到所述盖的入口和出口的热传递。