[发明专利]半导体装置的控制方法在审

专利信息
申请号: 202010951181.1 申请日: 2020-09-11
公开(公告)号: CN113345958A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 坂野竜则;下条亮平 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
主分类号: H01L29/739 分类号: H01L29/739;H01L29/423;H01L29/06
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 李今子
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体装置的控制方法,该半导体装置具备:

第1电极;

第2电极,与所述第1电极对置;

半导体部,设置于所述第1电极与所述第2电极之间;以及

第1控制电极、第2控制电极及第3控制电极,设置于所述半导体部与所述第1电极之间,与所述半导体部及所述第1电极电绝缘,相互电分离,

所述半导体部包括第1导电类型的第1层、第2导电类型的第2层、所述第1导电类型的第3层以及所述第2导电类型的第4层,

所述第1控制电极、所述第2控制电极及所述第3控制电极从所述半导体部的表面侧在所述第1层中延伸,

所述第2层设置于所述第1层与所述第1电极之间,

所述第3层选择性地设置于所述第2层与所述第1电极之间,与所述第1电极电连接,

所述第4层设置于所述第1层与所述第2电极之间,与所述第2电极电连接,在所述控制方法中,

在第1时间点,使施加到所述第1控制电极与所述第1电极之间的第1控制电压从比所述第1控制电极的第1阈值电压低的第1截止电压上升到比所述第1阈值电压高的第1导通电压,

在第2时间点,使施加到所述第2控制电极与所述第1电极之间的第2控制电压从比所述第2控制电极的第2阈值电压低的第2截止电压上升到比所述第2阈值电压高的第2导通电压,

在第3时间点,使施加到所述第3控制电极与所述第1电极之间的第3控制电压从比所述第3控制电极的第3阈值电压低的第3截止电压上升到比所述第3阈值电压高的第3导通电压,

在所述第1时间点、所述第2时间点及所述第3时间点以后的第4时间点,将所述第3控制电压降低到比所述第3阈值电压低的电平,

在所述第4时间点以后的第5时间点,将所述第2控制电压降低到比所述第2阈值电压低的电平,

在所述第5时间点以后的第6时间点,将所述第1控制电压降低到比所述第1阈值电压低的电平。

2.根据权利要求1所述的控制方法,其中,

在所述第4时间点,将所述第3控制电压降低到所述第3截止电压,

在所述第5时间点,将所述第2控制电压降低到所述第2截止电压,

在所述第6时间点,将所述第2控制电压降低到所述第1截止电压。

3.根据权利要求1所述的控制方法,其中,

所述第3导通电压和所述第3截止电压的差小于所述第1导通电压和所述第1截止电压的差、以及所述第2导通电压和所述第2截止电压的差,

所述第3时间点在所述第1时间点以及所述第2时间点之后。

4.根据权利要求3所述的控制方法,其中,

在所述第5时间点或者所述第5时间点与所述第6时间点之间的第7时间点,将所述第3控制电压降低到比所述第3截止电压更低的电平,

在所述第6时间点以后的第8时间点,使所述第3控制电压返回到所述第3截止电压。

5.根据权利要求3所述的控制方法,其中,

所述第1电极被保持为比所述第2电极的第2电位低的第1电位,

在所述第1时间点,所述第1控制电极的电位从比所述第1电位低的电平变化为比所述第1电位高的电平,

在所述第2时间点,所述第2控制电极的电位从比所述第1电位低的电平变化为比所述第1电位高的电平,

在所述第3时间点,所述第3控制电极的电位从与所述第1电位相同的电平变化为比所述第1电位高的电平。

6.根据权利要求1所述的控制方法,其中,

所述第1导通电压和所述第1截止电压的差、以及所述第2导通电压和所述第2截止电压的差相同,

所述第1时间点和所述第2时间点是同时的。

7.根据权利要求1所述的控制方法,其中,

所述第3导通电压和所述第3截止电的差与所述第1导通电压和所述第1截止电压的差、以及所述第2导通电压和所述第2截止电压的差相同,

所述第1时间点、所述第2时间点以及所述第3时间点是同时的。

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