[发明专利]X射线测量装置的校正方法

说明书

本发明提供一种X射线测量装置的校正方法，包括：载置工序，将校正治具载置于旋转台；移动位置获取工序，使第j个球的位置相对于第1个球的位置平行移动，向校正治具照射X射线，并从X射线图像检测器的输出中获取第j个球的投影像的重心位置相对于第1个球的投影像的重心位置的差位置的大小为规定值以下的移动位置；相对位置计算工序，对其余的球进行移动位置获取工序，根据各个移动位置来计算特定的相对位置间隔；特征位置计算工序；变换矩阵计算工序；旋转检测工序；位置计算工序；以及中心位置计算工序。由此，即使校正治具由于经年变化等而变形，例如也能够通过简单的工序容易地计算将被测定物以能够旋转的方式载置的旋转台的旋转中心位置。

相关申请的交叉引用

关于在2019年9月20日提交的包括说明书、附图、权利要求的日本申请No.2019-172253的公开内容，通过引用其全部而合并于此。

技术领域

本发明涉及一种X射线测量装置的校正方法，尤其涉及一种即使校正治具由于经年变化等而发生变形也能够通过简单的工序来计算例如将被测定物以能够旋转的方式载置的旋转台的旋转中心位置的X射线测量装置的校正方法。

背景技术

以往，X射线测量装置(测量用X射线CT装置)能够使用X射线对被测定物进行三维形状测量，主要使用于对从外观上难以确认的铸件的气孔、焊接部件的焊接不良以及电子电路部件的电路图案的缺陷等的观察、检查中。但是，近年来，随着3D打印机的普及，对加工品内部的3D尺寸测量及其高精度化的需求不断增加。针对这样的需求，期望X射线测量装置能够实现尺寸测量的进一步的高精度化。

为了更高精度地实施X射线测量装置中的尺寸测量，如日本特开2000-298105号公报所记载的那样在开始测定前使用校正治具进行装置固有的各种校正很重要。因此，期望校正治具一直保持准确的形状。

发明内容

发明要解决的问题

然而，虽然取决于管理状态，但校正治具有时也会由于经年变化等而发生变形。在这样的情况下，当在开始测定前利用该变形后的校正治具进行装置固有的各种校正时，还可能会导致测定精度降低。

本发明是为了解决上述以往的问题而完成的，其课题在于提供一种即使校正治具由于经年变化等而发生变形也能够通过简单的工序来计算例如将被测定物以能够旋转的方式载置的旋转台的旋转中心位置的X射线测量装置的校正方法。

用于解决问题的方案