[发明专利]真空装置、方法和电极的应用

权利要求书

1.一种真空装置，具有：

·用于在第一区域(301a)中贴近辊套(112m)地并且在第二区域(301b)中离开辊套(112m)地提供运输路径(111p)的运输辊(112)，该运输辊具有介电的辊套(112m)；

·气体分离结构(302)，该气体分离结构提供分离气体的空腔(302h)，其中，空腔(302h)从第一区域(301a)中的运输路径(111p)延伸到第二区域(301b)中的运输路径(111p)并且与辊套(112m)邻接；

·用于激发气体放电的电极(304)，其中，该电极(304)布置在空腔(302h)中，

其中，所述运输路径(111p)在所述第一区域(301a)中经过所述气体分离结构(302)贴近辊套(112m)，围绕所述运输辊(112)延伸，并且在所述第二区域(301b)中经过所述气体分离结构(302)远离辊套(112m)延伸，使得所述运输路径和所述辊套暴露于气体放电。

2.根据权利要求1所述的真空装置，还具有：用于朝着所述运输辊(112)发射涂层材料的涂层装置(306、308)。

3.根据权利要求1或2所述的真空装置，其中，所述气体分离结构(302)具有一个或多于一个界定所述空腔(302h)的壁元件。

4.根据权利要求1或2所述的真空装置，还具有：

用于将气体供应到所述空腔(302h)中的气体供应结构。

5.根据权利要求4所述的真空装置，其中，所述气体供应结构设置用于，穿过所述辊套(112m)地供应气体。

6.根据权利要求1或2所述的真空装置，其中，所述运输辊(112)具有调温装置(1124)，该调温装置设置用于向所述辊套(112m)供应和/或汲取热能。

7.根据权利要求1或2所述的真空装置，还具有：在所述空腔(302h)内的配属于所述电极(304)的附加的电极(304)。

8.根据权利要求7所述的真空装置，其中，所述电极(304)和所述附加的电极(304)这样相互接线，使得这些电极在运行中提供阳极和阴极。

9.真空装置，具有：

·用于在第一区域(301a)中贴近辊套(112m)地并且在第二区域(301b)中离开辊套(112m)地提供运输路径(111p)的运输辊(112)，其中，辊套(112m)具有电介质；

·两个用于激发气体放电的电极(304)，其中，两个电极(304)布置在第一区域(301a)中的运输路径(111p)和第二区域(301b)中的运输路径(111p)之间，

其中，所述运输路径(111p)在所述第一区域(301a)中经过气体分离结构(302)贴近辊套(112m)，围绕所述运输辊(112)延伸，并且在所述第二区域(301b)中经过所述气体分离结构(302)远离辊套(112m)延伸，使得所述运输路径和所述辊套暴露于气体放电。

10.一种用于运行权利要求1或9所述的真空装置的方法(1000)，具有：

·在第一区域(301a)中贴近运输辊(112)地并且在第二区域(301b)中离开运输辊(112)地运输带状的基板(102)，其中，基板被运输辊(112)电吸引；

·在第一区域(301a)和第二区域(301b)之间激发气体放电，其中，基板(102)和运输辊(112)暴露于气体放电，其中，反应气体被供应给气体放电。