[发明专利]一种金刚石线线切割用水性切割液及其制备和使用方法

说明书

本发明涉及一种金刚石线线切割用水性切割液及其制备和使用方法，切割液主要由硅改性聚醚8~33重量份；抑制硅烷水解稳定剂3~7重量份；水余量，且总重量份为100。实施本发明实施例，具有如下有益效果：本发明具备低泡自消泡功能，不需要额外添加消泡剂组分；并且硅改性聚醚可以在切割接触界面进行水解吸热反应，平衡切割过程不能被及时带走的热量；同时水解后的硅羟基能具有强吸附作用，可以起到保护金刚石线，增强润滑性能，降低切割阻力，减少断线几率；增强硅粉分散，使其不团聚，及时吸附结合硅粉表面的活性位点，避免压滤硅粉反应活性高而发生自燃的问题。

技术领域

本发明涉及一种线切割用水性切割液，尤其涉及一种金刚石线线切割硬脆材料用水性切割液。

背景技术

太阳能光伏电池片用硅片的生产过程依次经历了以下几个阶段：内圆切割工艺阶段、砂浆直钢线多线切割工艺阶段、砂浆结构线多线切割工艺阶段、金刚石线多线切割工艺阶段，2010年后就有硅片生产企业进行金刚石线多线切割试验研究，2015年后开始陆续由企业进行批量投入金刚石线多线切割单晶硅片，2016年由于金刚石线切割多晶硅片制绒工艺(湿法黑硅制绒工艺)的突破，金刚石线切割工艺得到了爆发式发展，替换了砂浆多线切割工艺。金刚石线多线切割工艺的全面推广由于其具备的特定优势：①切割工艺时间短，较砂线切割工艺时间缩短了3～7倍；②切割线缝细，单公斤硅棒出片数高，硅料损失减小；③环保，使用水性金刚线切割液代替聚醚类悬浮液，使用浓度仅为砂线切割的0.1％～0.5％，废液COD低，而且回收的硅粉可以用于回收制作冶金级硅；④切割成本低；⑤切割硅片表面质量高。

同时金刚石线多线切割不仅仅局限于太阳能光伏电池片用硅材料的切割，还广泛应用于半导体晶圆、蓝宝石、玻璃、磁材等硬脆材料的切割。

随着金刚石线切割工艺出现，金刚石线多线切割液的发展也就孕育而生。早期金刚石线切割液是采用有机硅类乳液消泡剂为控泡体系的表面活性剂复配体系，后来由于切割过程堵塞滤袋、线网断线影响增加、造成脏污以及废水压滤影响滤布使用寿命等缺点。逐步发展到了不使用有机硅消泡剂的纯水性体系，消泡剂也被一些水性组分代替，发泡表面活性剂选取方面，也朝向低泡表面活性剂发展，多数为环氧乙烷-环氧丙烷嵌段聚醚、脂肪醇环氧乙烷环氧丙烷嵌段聚醚、炔醇乙氧基化合物、含阴离子螯合基团的共聚物分散剂等。但仍有一些缺点，如嵌段聚醚的泡沫性能优异，低浓度下表面活性弱，对切割环境下硅粉的润湿能力差、分散性不佳；脂肪醇聚醚虽然有低泡类型，但是溶液体系微泡难消除，容易产生硅粉团聚脏污和泡沫积聚而发生溢缸；炔醇乙氧基化合物在动态表张和控泡方面都有较大优势，但是分子量太低，产生的润滑膜层强度低，辅助切割能力差，硅片表面切割线痕加剧、TTV增大等；含阴离子螯合基团的共聚物分散剂在水中溶解会电离，使切割环境下水溶液电导率增加，容易造成切割设备因电导率升高产生闭合电流回路，造成断线误报警，而停机，造成断线或切割线痕、色差。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题在于，针对现有金刚石线细线径化、高切割线速度、硅片大尺寸化等更加苛刻的切割工艺，切割过程中硅粉粒径更细小、硅粉分散越困难，更容易造成脏污的产生，同时切割硅片线痕、TTV、崩边等良率指标也越来越差。

本发明采用由硅改性剂和聚醚经过加成合成反应制备得到硅改性聚醚，并且该类型聚醚可以在切割界面温度和压力环境下发生水解吸热反应，在硅改性聚醚链端形成强吸附性的硅羟基基团。水解吸热反应可以带走切割界面的热量，避免金刚石线在切割过程中因为循环喷淋液浸润不足，而发生摩擦热量过高造成断线；同时硅改性聚醚链端水解后的强吸附性硅羟基基团，可有以下作用：①吸附在金刚石线表面，形成金刚石线保护膜，起到润滑作用；②吸附在切割界面新产生的硅粉表面，形成空间位阻膜，阻碍硅粉团聚，起到优异分散效果；③吸附在硅片表面，形成吸附膜层，保护硅片表面硅粉脏污积聚，造成难以清洗的硅片脏污。抑制硅烷水解稳定剂为多元醇类或多糖类化合物，通过多元醇类或多糖类化合物含有较多的羟基，和水能形成氢键作用，可抑制硅氧烷在水中的水解。