[发明专利]一种制备碲化镉或碲锌镉多晶料的方法有效
| 申请号: | 202010932731.5 | 申请日: | 2020-09-08 |
| 公开(公告)号: | CN111809243B | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
| 发明(设计)人: | 孙士文 | 申请(专利权)人: | 宁波碲晶光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/48 | 分类号: | C30B29/48;C30B28/04 |
| 代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 胡志萍;王莹 |
| 地址: | 315205 浙江省宁波市镇海*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 制备 碲化镉 碲锌镉 多晶 方法 | ||
本发明涉及一种碲化镉或碲锌镉多晶料的制备方法,其特征在于包括以下制备工艺流程:1)将第一坩埚、盖合第一坩埚的第一盖子清洗干净并烘干,其中,第一坩埚具有沿外周壁的环形槽;第一盖子的顶部封闭、底部开口且侧壁能够插入环形槽内;2)按拟合成碲化镉的配比称取单质碲、单质镉;或者按拟合成碲锌镉的配比称取单质碲、单质镉、单质锌。本发明的制备方法采用液封技术阻止镉蒸气挥发损失,第一坩埚可以重复多次使用,从而降低了成本;通过采用水平式坩埚增大碲单质与镉熔体的接触面积,使化合反应热量快速散失,避免积温,减轻了碲与镉化合反应的剧烈程度,降低了对合成设备的耐压要求,降低了设备成本。
技术领域
本发明属于晶体材料制备领域,具体涉及一种合成碲化镉(CdTe)或碲锌镉(Cd
背景技术
碲化镉、碲锌镉晶体是制备碲镉汞红外焦平面探测器的首选衬底材料,是制备核辐射探测器的理想半导体材料,除此之外,碲化镉、碲锌镉晶体在制备薄膜太阳能电池、红外窗口、光调制器等方面也有着广阔的应用。
在碲化镉、碲锌镉材料制备工艺中,采用碲单质、镉单质、锌单质成功合成碲化镉、碲锌镉多晶料是关键技术,通常采用石英坩埚真空烧结密封方法,合成完成后需要将石英坩埚破开才能取出里面的晶锭,每合成一次就需要损耗一根石英坩埚,成本较高;另一方面,碲单质与镉单质化合时会发生剧烈的反应,单次合成量稍大时,经常会发生石英坩埚容器爆炸问题,导致材料氧化报废以及设备损毁而造成很大的经济损失。
针对现有的碲化镉、碲锌镉多晶料的合成工艺的难点,本发明提出了一种适用于工业化大规模、低成本合成碲化镉、碲锌镉多晶料的方法。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种适用于工业化大规模、低成本的制备碲化镉或碲锌镉多晶料的方法。
本发明所采用的技术方案为:一种制备碲化镉或碲锌镉多晶料的方法,其特征在于包括以下制备工艺流程:
1)将第一坩埚、盖合第一坩埚的第一盖子清洗干净并烘干;其中,第一坩埚具有沿外周壁的环形槽;第一盖子的顶部封闭、底部开口且侧壁能够插入环形槽内;
2)按拟合成碲化镉的配比称取单质碲、单质镉;或者按拟合成碲锌镉的配比称取单质碲、单质镉、单质锌;
3)将称取的材料装入第一坩埚中;
4)将第一盖子的侧壁插入环形槽内,将第一坩埚盖合,向环形槽内放入液封剂;
5)将第一坩埚放入合成炉内的第二坩埚中;其中,合成炉具有多温区;
6)将合成炉内部抽真空,再充入一定压力的惰性气体;
7)操作设置在合成炉上的连接杆将第二盖子盖在第二坩埚上;其中,第二盖子与第二坩埚密封配合;
8)先将液封剂升温,使液封剂先熔化;然后将第一坩埚升温,使镉单质全部熔化;继续升温将第一坩埚中单质碲或单质碲及单质锌熔化;熔化的碲与镉熔体或镉锌熔体发生化合反应生成碲化镉或者碲锌镉;
9)在全部单质材料反应生成碲化镉或者碲锌镉后,将第一坩埚升温使碲化镉或者碲锌镉为熔融状态,保温,然后缓慢降至室温;
10)将合成炉内的惰性气体排出,操作连接杆升起第二盖子,将第一坩埚从第二坩埚中取出;将环形槽中的液封剂溶解,打开第一盖子,将碲化镉或者碲锌镉晶锭从第一坩埚中取出。
作为优选,所述步骤3)中,先将单质碲平铺在第一坩埚的底部,再将单质镉或者单质镉及单质锌平铺在单质碲的上面。
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