[发明专利]一种研磨液流量控制方法、装置、设备及可读存储介质

权利要求书

1.一种研磨液流量控制方法，其特征在于，包括：

获取机械臂的运动参数；

根据所述机械臂的运动参数，确定所述机械臂的位置数据；

根据所述位置数据确定目标研磨液流量，包括：根据第一函数关系式，确定所述机械臂在当前位置的所述目标研磨液流量；

根据第二函数关系式对所述目标研磨液流量进行校正；

其中，所述第一函数关系式的确定方法包括：获取所述机械臂在摆动中的多个位置点以及与多个位置点所对应的多个初始研磨液流量；根据所述多个位置点与多个所述初始研磨液流量之间的关系，确定第一函数关系式；

所述第二函数关系式的确定方法包括：获取所述机械臂在当前位置的实际研磨液流量，以及抛光盘的反馈研磨液流量；根据所述反馈研磨液流量、所述实际研磨液流量和所述目标研磨液流量之间的比例关系，确定第二函数关系式。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述运动参数包括机械臂的摆动范围和机械臂的摆动频率。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一函数关系式为线性关系式或正弦关系。

4.一种研磨液流量控制装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取机械臂的运动参数；

第一确定模块，用于根据所述机械臂的运动参数，确定所述机械臂的位置数据；

第二确定模块，用于根据所述位置数据确定目标研磨液流量；

校正模块，用于根据第二函数关系式对所述目标研磨液流量进行校正；

其中，所述第二确定模块包括：确定子模块，用于根据第一函数关系式，确定所述机械臂在当前位置的所述目标研磨液流量；

所述确定子模块，还用于获取所述机械臂在摆动中的多个位置点以及与多个位置点所对应的多个初始研磨液流量；根据所述多个位置点与多个所述初始研磨液流量之间的关系，确定第一函数关系式；

所述校正模块，还用于获取所述机械臂在当前位置的实际研磨液流量，以及抛光盘的反馈研磨液流量；根据所述反馈研磨液流量、所述实际研磨液流量和所述目标研磨液流量之间的比例关系，确定第二函数关系式。

5.一种计算机设备，其特征在于，包括：存储器和处理器，所述存储器和所述处理器之间互相通信连接，所述存储器中存储有计算机指令，所述处理器通过执行所述计算机指令，从而执行权利要求1-3中任一项所述的研磨液流量控制方法。

6.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机执行权利要求1-3中任一项所述的研磨液流量控制方法。