[发明专利]一种石墨烯触控传感器制造方法在审
申请号: | 202010910321.0 | 申请日: | 2020-09-02 |
公开(公告)号: | CN112015303A | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 谭化兵;潘智军;李磊 | 申请(专利权)人: | 安徽宇航派蒙健康科技股份有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;G06F3/044;H01L27/32 |
代理公司: | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人: | 肖淑芳;康颖 |
地址: | 230000 安徽省合肥市蜀山区源*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 烯触控 传感器 制造 方法 | ||
1.一种石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
S100、准备一片含碳薄膜作为触控器件制造的基材;
S200、采用短波长激光光源的激光诱导技术,在基材上制作石墨烯图像,制备感应层,所述感应层用于感受触摸压力;
S300、采用短波长激光光源的激光诱导技术,在基材上制作石墨烯图像,制备驱动层,所述驱动层用于驱动所述感应层工作;
S400、采用丝网印刷技术,在所述感应层或所述驱动层制备银浆导电层;
S500、采用光学双面胶贴合所述感应层或所述驱动层,制造石墨烯触控器件。
2.根据权利要求1所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述含碳薄膜为透明无色聚酰亚胺薄膜。
3.根据权利要求2所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述基材一面硬化处理,另一面制备所述感应层;
还包括步骤:
S310、所述石墨烯图像周边预留连通边缘;
S320、所述感应层上涂布聚酰亚胺材质预聚体,亚胺化为透明的叠增膜层;
S330、采用短波长激光光源的激光诱导技术,在所述基材的所述叠增膜层上制作石墨烯图像,制备所述驱动层。
4.根据权利要求3所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述涂布方法包括悬涂、喷涂、狭缝式涂布方法。
5.根据权利要求4所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述亚胺化条件为:280-350℃,10-180分钟;优选300℃,60分钟。所述叠增膜层薄膜厚度为2-15微米,优选10微米。
6.根据权利要求2所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述基材一面硬化处理,另一面制备所述感应层;
还包括步骤:
S301、准备一片透明无色聚酰亚胺薄膜作为叠加膜层;
S302、采用短波长激光光源的激光诱导技术,在所述叠加膜层上制作石墨烯图像,制备所述驱动层。
7.根据权利要求1~6任一所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述基材厚度为10-150微米。
8.根据权利要求1~7任一所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述激光诱导技术对所述基材进行处理,获得了触控器件的所述感应层石墨烯图像,所述石墨烯图像线条宽度为2-5微米;
所述激光诱导技术中参数范围为:波长为200-500纳米,激光脉冲时间为500皮秒-500毫秒,激光功率密度100-5000kW/cm2;优选为:波长405nm,激光脉冲时间为20微秒,激光功率密度为1000kW/cm2。
9.根据权利要求1~8任一所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述银浆导电层通过印刷或激光刻画制作连通电路。
10.根据权利要求1~9任一所述的石墨烯触控器件制造方法,其特征在于,
所述光学双面胶厚度为10-30微米,优选20微米。
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