[发明专利]太阳能电极模具的生产方法、设备与计算机可读存储介质有效
申请号: | 202010908576.3 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN112018197B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 陈飞;詹兴华;章锡武;陆献忠 | 申请(专利权)人: | 深圳纳弘熠岦光学科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 关向兰 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 电极 模具 生产 方法 设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
本发明公开了一种太阳能电极模具的生产方法,包括:确定电极的电池栅线的排布微观形貌,并基于所述排布微观形貌,确定所述电极的模具图像;基于所述模具图像,制作所述电极对应的曝光掩膜版;选择基材,并基于所述曝光掩膜版和所述基材,制作所述电极的母模;选择第一胶材,并基于所述母模和所述胶材,制作所述电极的子模;选择第二胶材,并基于所述子模和所述第二胶材,制作所述电极的生产模具。本发明还公开了一种生产设备和计算机可读存储介质。本发明通过合理的栅线排布微观形貌,制作优良的曝光掩膜版,并通过母模、子模的制作,确保生产模具与母模一致,从而生产出优良的太阳能电极模具。
技术领域
本发明涉及生产工艺技术领域,尤其涉及太阳能电极模具的生产方法、设备与计算机可读存储介质。
背景技术
目前的太阳能电池的电极,一般采用丝网印刷等方式进行制备,具体在硅片的两面印刷正负电极和背场,最后进行烧结,从而使光照产生的载流子被导出,实现太阳能电池的光电转化。
在制备过程中,一般将承载物,也即电池片放在模具,如网版,下面,浆料在刮刀的积压下穿过模具的网孔,印刷到电池片上,形成电极,因此,如何制作优良的模具,是生产太阳能电池的关键步骤。
发明内容
本发明的主要目的在于提出一种太阳能电极模具的生产方法、设备与计算机可读存储介质,旨在制作优良的太阳能电极模具。
为实现上述目的,本发明提供一种太阳能电极模具的生产方法,所述太阳能电极模具的生产方法包括如下步骤:
确定电极的电池栅线的排布微观形貌,并基于所述排布微观形貌,确定所述电极的模具图像;
基于所述模具图像,制作所述电极对应的曝光掩膜版;
选择基材,并基于所述曝光掩膜版和所述基材,制作所述电极的母模;
选择第一胶材,并基于所述母模和所述胶材,制作所述电极的子模;
选择第二胶材,并基于所述子模和所述第二胶材,制作所述电极的生产模具。
优选地,所述确定电极的电池栅线的排布微观形貌的步骤包括:
基于预设光学模型,模拟入射光在所述电极表面的散射光及透射光;
基于所述入射光、所述散射光和所述透射光,确定所述电极的电池栅线的形状,并确定所述电池栅线的排布信息;
基于所述形状和所述排布信息,确定所述电池栅线的排布微观形貌。
优选地,所述基于所述入射光和所述散射光,确定所述电极的电池栅线的形状,并确定所述电池栅线的排布信息的步骤包括:
基于所述入射光和所述散射光,模拟所述电极的吸光效率,并基于所述吸光效率,确定所述电极的电池栅线的形状;
确定所述电极对应的光生载流子的移动信息和衰减距离,并基于所述移动信息和所述衰减距离,确定所述电池栅线的排布信息。
优选地,所述基于所述曝光掩膜版和所述基材,制作所述电极的母模的步骤包括:
确定所述电池栅线的深度,并基于所述深度,确定光刻胶的涂胶厚度和涂旋速度;
基于所述涂胶厚度和涂旋速度,在所述基材上涂上所述光刻胶,并进行烘干;
基于所述曝光掩膜版,对烘干后的基材进行曝光,以得到所述电极的母模;
或者,
基于所述排布微观形貌,对烘干后的基材进行激光曝光并显影,以得到所述电极的母模。
优选地,所述基于所述曝光掩膜版,对烘干后的基材进行曝光,以得到所述电极的母模的步骤包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的