[发明专利]激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法

说明书

本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。其中，激光等离子体极紫外光源，真空靶室、光学透镜模组、液滴靶发生器和用于收集极紫外光的收集镜；激光通过光学透镜模组形成的光学焦点位于真空靶室的内部；液滴靶发生器用于向真空靶室提供液滴；液滴在真空靶室的移动线路经过光学焦点，以使液滴靶发生器产生的液滴与激光在光学焦点处产生极紫外光；收集镜的收集方向与激光入射方向垂直，且不与液滴的移动方向平行。光学透镜模组的焦点处于真空环境，避免了对其它设备的损坏。同时，本申请的收集器的收集方向与激光入射方向垂直，收集镜的中间不需要开设孔，从而可以收集到更多的光，提高收集效率，进一步的提高了光源的转换效率。

技术领域

本申请涉及激光技术领域，特别是涉及一种激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。

背景技术

光刻技术作为半导体工业中最为关键的技术，它的发展带来了半导体器件性能的飞速提高，在半导体工业半个多世纪的进化历程中为整个产业的发展提供了强有力的技术支撑。但是，随着半导体芯片集成度越来越高，极大规模集成电路的进一步细微化已经受到光刻技术中光刻分辨率的限制。目前，采用波长为13.5nm的极紫外辐射为曝光光源的极紫外光刻技术已被认定将成为突破7nm节点半导体工业技术的重要手段。

在实现过程中，发明人发现传统技术中至少存在如下问题：传统设备具有的光源转换效率低的问题。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种光源转换效率高的激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。

为了实现上述目的，一方面，本发明实施例提供了一种光源转换效率高的激光等离子体极紫外光源，包括：

真空靶室；

光学透镜模组；激光通过光学透镜模组形成的光学焦点位于真空靶室的内部；

液滴靶发生器；液滴靶发生器用于向真空靶室提供液滴；液滴在真空靶室的移动线路经过光学焦点，以使液滴靶发生器产生的液滴与激光在光学焦点处产生极紫外光；

用于收集极紫外光的收集镜；收集镜的收集方向与激光入射方向垂直，且不与液滴的移动方向平行。

在其中一个实施例中，光学透镜模组包括预设数量的透镜组；各透镜组包括第一透镜和第二透镜；

第一透镜和第二透镜形成谐振腔；第一透镜的焦点落入谐振腔的范围内。

在其中一个实施例中，光学透镜模组包括预设数量的光学透镜；

各光学透镜的焦点的位置均与光学焦点的位置重合。

在其中一个实施例中，还包括泵浦源；

泵浦源用于产生激光。

在其中一个实施例中，还包括增益介质；

增益介质设于光学透镜模组的靠近光学焦点的一侧。

在其中一个实施例中，还包括激光探测器和处理器；

激光探测器用于检测激光输出的功率，并传输给处理器；

处理器根据激光输出的功率调节泵浦源的泵浦强度。

一方面，本发明实施例还提供了一种极紫外光的产生方法，应用于如上述任一项的激光等离子体极紫外光源，包括步骤：

检测激光通过光学透镜模组的事件是否发生；

若检测的结果为是，向液滴靶发生器传输驱动指令；驱动指令用于指示液滴靶发生器开启，以使液滴靶发生器产生的液滴与激光在光学焦点处产生极紫外光。

在其中一个实施例中，还包括步骤：

获取激光输出的功率；