[发明专利]激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法

权利要求书

1.一种激光等离子体极紫外光源，其特征在于，包括：

真空靶室；

光学透镜模组；激光通过所述光学透镜模组形成的光学焦点位于所述真空靶室的内部；其中，所述激光为连续激光；

液滴靶发生器；所述液滴靶发生器用于向所述真空靶室提供液滴；所述液滴在所述真空靶室的移动线路经过所述光学焦点，以使所述液滴靶发生器产生的液滴与所述激光在所述光学焦点处产生极紫外光；

用于收集所述极紫外光的收集镜；所述收集镜的收集方向与所述激光入射方向垂直，且不与所述液滴的移动方向平行；

处理器，用于检测所述激光通过所述光学透镜模组的事件是否发生；若所述检测的结果为是，向所述液滴靶发生器传输驱动指令；所述驱动指令用于指示所述液滴靶发生器开启，以使所述液滴靶发生器产生的液滴与所述激光在所述光学焦点处产生极紫外光；

所述激光等离子体极紫外光源还包括激光探测器；所述激光探测器用于检测所述激光输出的功率，并传输给所述处理器；所述处理器根据所述激光输出的功率调节泵浦源的泵浦强度；

所述光学透镜模组包括预设数量的透镜组；各所述透镜组包括第一透镜和第二透镜；

所述第一透镜和所述第二透镜形成谐振腔；所述第一透镜的焦点落入所述谐振腔的范围内。

2.根据权利要求1所述的激光等离子体极紫外光源，其特征在于，所述光学透镜模组包括预设数量的光学透镜；

各所述光学透镜的焦点的位置均与所述光学焦点的位置重合。

3.根据权利要求1所述的激光等离子体极紫外光源，其特征在于，还包括泵浦源；

所述泵浦源用于产生所述激光。

4.一种极紫外光的产生方法，其特征在于，应用于权利要求1-3任一项所述的激光等离子体极紫外光源，包括步骤：

检测所述激光通过所述光学透镜模组的事件是否发生；

若所述检测的结果为是，向所述液滴靶发生器传输驱动指令；所述驱动指令用于指示所述液滴靶发生器开启，以使所述液滴靶发生器产生的液滴与所述激光在所述光学焦点处产生极紫外光。

5.根据权利要求4所述的极紫外光的产生方法，其特征在于，还包括步骤：

获取所述激光输出的功率；

根据所述激光输出的功率调节泵浦源的泵浦强度。

6.一种极紫外光的产生装置，其特征在于，应用于权利要求1-3任一项所述的激光等离子体极紫外光源，包括：

检测模块，用于检测所述激光通过所述光学透镜模组的事件是否发生；

开启模块，用于若所述检测的结果为是，向所述液滴靶发生器传输驱动指令；所述驱动指令用于指示所述液滴靶发生器开启，以使所述液滴靶发生器产生的液滴与所述激光在所述光学焦点处产生极紫外光。

7.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求4至5中任一项所述的方法的步骤。