[发明专利]电致变色膜系的制备方法及电致变色器件的制备方法

说明书

本发明涉及一种电致变色膜系的制备方法及电致变色器件的制备方法。电致变色膜系的制备方法包括如下步骤：采用气相沉积技术在第一透明保护层上形成第一导电薄膜层，第一导电薄膜层的材质为金属氧化物；采用气相沉积技术在第一导电薄膜层上形成离子储存层，离子储存层的材质为锂合金或者锂金属氧化物；采用气相沉积技术在离子储存层上形成离子传导输送层，离子传导输送层的材质为含锂的聚阴离子化合物；采用气相沉积技术在离子传导输送层上形成离子变色层，离子变色层的材质为金属氧化物；采用气相沉积技术在离子变色层上形成第二导电薄膜层，第二导电薄膜层的材质为金属氧化物；以及采用气相沉积技术在第二导电薄膜层上形成第二透明保护层。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种电致变色膜系的制备方法及电致变色器件的制备方法。

背景技术

电致变色现象是指在外加电场作用下，材料的光学性能发生连续可逆变化的现象，直观地表现为材料的颜色和透明度发生可逆变化的过程。具备这一特殊功能的材料称为电致变色材料，这一新型材料具有许多优越特性，透射率可在较大范围内连续变化，并可由人工随意调节；无视角差；驱动变色所需电压低，电源简单，耗电省；还具有记忆存储功能；在使用中受环境条件的影响较小等等。利用电致变色现象及材料可制作成电致变色膜系及电致变色器件。传统的电致变色方案中，通常采用金属锂来作为离子的储存材料，然而，金属锂本身需要在特殊的环境下保存，且金属锂的靶材对磁控溅射沉积设备和工艺有特殊要求，金属锂的薄膜在电致变色器件中工作不能保持一致连续，金属锂与其他材料存在界面匹配问题。上述导致传统的电致变色方案不利于应用。

发明内容

基于此，有必要提供一种有利于应用的电致变色膜系的制备方法及电致变色器件的制备方法。

一种电致变色膜系的制备方法，包括如下步骤：

采用气相沉积技术在第一透明保护层上形成第一导电薄膜层，所述第一导电薄膜层的材质为金属氧化物；

采用气相沉积技术在所述第一导电薄膜层上形成离子储存层，所述离子储存层的材质为锂合金或者锂金属氧化物；

采用气相沉积技术在所述离子储存层上形成离子传导输送层，所述离子传导输送层的材质为含锂的聚阴离子化合物；

采用气相沉积技术在所述离子传导输送层上形成离子变色层，所述离子变色层的材质为金属氧化物；

采用气相沉积技术在所述离子变色层上形成第二导电薄膜层，所述第二导电薄膜层的材质为金属氧化物；以及

采用气相沉积技术在所述第二导电薄膜层上形成第二透明保护层，得到电致变色膜系。

本发明技术方案的电致变色膜系的制备方法简单，可实现多种不同的第一导电薄膜层、离子储存层、离子传导输送层、离子变色层以及第二导电薄膜层等功能材料的自由组合匹配，完善了上述各功能层之间的界面稳定性，因此能在较低的工作电压下，保证电致变色器件的长时间稳定，有利于应用。

在其中一个实施例中，在所述离子变色层上形成第二导电薄膜层之前，还包括以下步骤：

采用气相沉积技术在所述离子变色层上形成离子储色层，所述离子储色层的材质为锂金属氧化物。

在其中一个实施例中，采用气相沉积技术在所述离子变色层上形成离子储色层的操作为：将真空度抽到设定值，之后升温至370℃～430℃，通入260sccm～380sccm的惰性气体与30sccm～38sccm的氧气，在真空条件下进行溅射沉积，得到离子储色层，所述离子储色层的厚度为250nm～360nm。