[发明专利]一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法

说明书

本发明提供一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法，所述方法包括对所述铜铝材料表面进行预清洗、螺纹面清洗以及轰击清洗。所述方法可有效去除铜铝材料表面的油污以及氧化层，增强磁控溅射镀膜与镀膜金属表面的附着力，且方法简单，易于应用到工业化当中。

技术领域

本发明属于PVD镀膜领域，涉及一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法。

背景技术

靶材焊接领域部分难以实现扩散的金属材料，行业内有一种方案，即在其中一个金属焊接面通过磁控溅射方式先镀上一层易于和另外一种金属扩散焊接的金属膜，再通过这层金属膜实现靶材与背板之间的焊接。如果所镀金属膜层与基体的结合力不好，则会出现靶材与背板脱焊现象，因此这种办法要求磁控溅射镀膜时金属膜层与基体的结合力要好。而铜和铝是两种易于氧化的金属，如果表面没有处理好，则磁控溅射镀膜膜层与铜或者铝的基体强度不高。

CN108060425A公开一种废铝加工前的清洗方法，包括以下操作步骤：(1)将收集的废铝用水洗净后，表面喷洒改性液，然后将废铝放入温度为45-55℃的烘箱中，烘烤处理25-30min，取出，其中改性液由以下重量份的组分制成：甲基丙烯磺酸钠11-19份、二水合钼酸钠14-19份、乙二胺基丙磺酸钠7-10份、柠檬酸铜1-5份、水250-300份；(2)将经过步骤(1)处理的废铝加入至除漆液中，充分浸泡处理40-50min后，取出，再用水洗净，废铝清洗完成，其中除漆液由以下重量份的组分制成：四氟硼酸亚硝1-3份、正钒酸钠10-15份、植酸钠18-22份、多硫化钠1-3份、水360-400份。该方法使用大量的重金属酸盐以及硫化物等作为清洗剂，清洗后废液的处理难度大，易产生环境污染。

CN107597686A公开了一种铝合金零件的清洗方法，具体包括以下步骤：步骤一、先用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋，再用氮气将铝合金零件的表面吹干处理；步骤二、将烘干后的铝合金零件进行抛光处理；步骤三、使用金属有机溶剂对抛光后的铝合金零件进行擦拭，静置晾干；有机溶剂包括以下至少一种：异丙醇、乙醇、丙酮；步骤四、将步骤三所得铝合金零件先用超声波清洗表面，再用超纯水对表面进行喷淋，然后用氮气做吹干处理，最后进行烘干处理，烘干温度100-120℃，烘干时间为1-1.5小时。该方法仅适用超纯水和有机溶剂进行超声清洗，清洗效果有效，不能达到PVD镀膜的要求。

常规的靶材溅射前清洗方法为用有机溶剂进行超声波或者擦拭清洗，但铝和铜材料界面易于氧化，且表面脏污较难去除，尤其是有些靶材焊接表面需要车削一些螺旋状的螺纹(利于扩散焊接)，更难去除表面油污和氧化层，所以所以需要一种更为有效的方法来进行表面处理。

发明内容

为解决现有技术中存在的技术问题，本发明提供一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法，所述方法可有效去除铜铝材料表面的油污以及氧化层，增强磁控溅射镀膜与镀膜金属表面的附着力，且方法简单，易于应用到工业化当中。

为达上述技术效果，本发明采用以下技术方案：

本发明提供一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法，其特征在于，所述方法包括对所述铜铝材料表面进行预清洗、螺纹面清洗以及轰击清洗。

作为本发明优选的技术方案，所述预清洗的方法包括使用溶剂对所述铜铝材料表面进行超声清洗。

作为本发明优选的技术方案，所述溶剂包括异丙醇和/或航空煤油。

优选地，所述超声清洗的时间不低于5min，如6min、8min、10min、15min、20min、25min或30min等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本发明优选的技术方案，所述超声清洗后对所述铜铝材料进行干燥。

优选地，所述干燥的温度为50～80℃，如55℃、60℃、65℃、70℃或75℃等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。