[发明专利]一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法在审
| 申请号： | 202010895245.0 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN112030100A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;廖培君;占卫君;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/35;C23G5/024;C23G5/032 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 材料 pvd 镀膜 表面 处理 方法 | ||
1.一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法，其特征在于，所述方法包括对所述铜铝材料表面进行预清洗、螺纹面清洗以及轰击清洗。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预清洗的方法包括使用溶剂对所述铜铝材料表面进行超声清洗。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述溶剂包括异丙醇和/或航空煤油；
优选地，所述超声清洗的时间不低于5min。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述超声清洗后对所述铜铝材料进行干燥；
优选地，所述干燥的温度为50～80℃；
优选地，所述干燥的时间为30～90min。
5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述螺纹面清洗包括使用滑石粉与有机溶剂的混合物，对螺纹面进行擦拭；
优选地，所述擦拭的次数不低于三次；
优选地，所述有机溶剂包括异丙醇、正丙醇或乙醇等的任意一种或至少两种的组合。
优选地，所述擦拭结束后将螺纹面上附着的滑石粉与有机溶剂的混合物擦除。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，使用惰性气氛将擦拭后的所述螺纹面吹干；
优选地，所述惰性气氛包括氩气和氮气。
7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述轰击清洗的温度为100～200℃；
优选地，所述轰击清洗的时间为2～5min。
8.根据权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，所述轰击清洗中使用的偏压电源的电压为300～500V；
优选地，所述轰击清洗中使用离子源电流为80～150A。
9.根据权利要求1-8任一项所述的方法，其特征在于，所述轰击清洗在惰性气氛下进行；
优选地，所述惰性气氛包括氩气和/或氮气；
优选地，所述惰性气氛的流量为120～180mL/min。
10.根据权利要求1-9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括：
预清洗：使用溶剂对所述铜铝材料表面进行超声清洗，超声清洗的时间不低于5min，所述超声清洗后对所述铜铝材料进行干燥，所述干燥的温度为50～80℃，所述干燥的时间为30～90min；
螺纹面清洗：使用滑石粉与有机溶剂的混合物，对螺纹棉进行擦拭不少于3次，所述擦拭结束后将螺纹面上附着的滑石粉与有机溶剂的混合物擦除，使用惰性气氛将擦拭后的所述螺纹面吹干；
轰击清洗：所述轰击清洗的温度为100～200℃，时间为2～5min，所述轰击清洗中使用的偏压电源的电压为300～500V，使用离子源电流为80～150A，所述轰击清洗在惰性气氛下进行，所述惰性气氛的流量为120～180mL/min。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010895245.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
