[发明专利]真空泵

说明书

本发明提供一种能够在短时间内使泵主体的温度上升到所期望的温度的真空泵。真空泵(100)包括：泵主体(6)；加热器(7)，设置于泵主体(6)；电源装置(1)，对泵供给电力；冷却器(2)，设置于泵主体(6)与电源装置(1)之间；连接板(4)，设置于泵主体(6)与冷却器(2)之间；第一隔热板(3)，配置于冷却器(2)与连接板(4)之间；以及第二隔热板(5)，配置于泵主体(6)与连接板(4)之间。

技术领域

本发明涉及一种电源装置一体型的真空泵。

背景技术

作为真空泵的涡轮分子泵被用于各种真空处理装置。电源一体型的涡轮分子泵包括泵主体以及电源装置。在专利文献1中所记载的涡轮分子泵中，为了对构成电源装置的各零件进行冷却而在泵主体与电源装置之间设置水冷装置。

另一方面，根据由涡轮分子泵排出的气体种类，产物附着于泵主体的内部。因此，为了将泵主体的内部温度保持为不会附着产物的程度，而在泵主体设置加热器(例如，参照专利文献2)。由此，由产物的附着物所致的排气性能的降低得到抑制。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-148977号公报

[专利文献2]日本专利特开2013-079602号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在涡轮分子泵中，有时为了将泵主体与水冷装置连接而在泵主体设置连接板。在此种结构中，为了抑制泵主体与水冷装置之间的热的移动而在连接板与水冷装置之间设置隔热板。

但是，即便在设置有隔热板的情况下，有时也在泵主体与水冷装置之间经由连接板以及隔热板而产生热的移动。结果，泵主体的温度难以上升到所期望的温度。

本发明的目的为提供一种能够在短时间内使泵主体的温度上升到所期望的温度的真空泵。

[解决问题的技术手段]

依照本发明的一方面的真空泵包括：泵主体；加热器，设置于所述泵主体；电源装置，对所述泵主体供给电力；冷却器，设置于所述泵主体与所述电源装置之间；连接板，设置于所述泵主体与所述冷却器之间；第一隔热板，配置于所述冷却器与所述连接板之间；以及第二隔热板，配置于所述泵主体与所述连接板之间。

依照本发明的另一方面的真空泵包括：泵主体；加热器，设置于所述泵主体；电源装置，对所述泵主体供给电力；冷却器，设置于所述泵主体与所述电源装置之间；连接板，设置于所述泵主体与所述冷却器之间；以及第一隔热板，配置于所述冷却器与所述连接板之间，并且所述冷却器以及所述连接板中的至少一者具有供所述第一隔热板嵌入的第一嵌入区域，且在所述冷却器与所述连接板之间形成第一间隙，所述第一隔热板的厚度大于所述第一间隙的厚度。

[发明的效果]

根据本发明，在真空泵中，能够使泵主体的温度在短时间内上升到所期望的温度。

附图说明

图1是第一实施形态的涡轮分子泵的示意性正面图。

图2是图1的涡轮分子泵的A-A线剖面图。

图3是图1的涡轮分子泵的一部分的放大剖面图。

图4是第二实施形态的涡轮分子泵的示意性正面图。

图5是图4的涡轮分子泵的B-B线剖面图。

图6是图4的涡轮分子泵的一部分的放大剖面图。

图7是表示涡轮分子泵的其他例的一部分的放大剖面图。