[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其中，包括：泵主体；

加热器，设置于所述泵主体；

电源装置，对所述泵主体供给电力；

冷却器，设置于所述泵主体与所述电源装置之间；

连接板，设置于所述泵主体与所述冷却器之间；

第一隔热板，配置于所述冷却器与所述连接板之间；以及

第二隔热板，配置于所述泵主体与所述连接板之间，

其中所述泵主体具有与所述连接板相向的第一面并且具有外周面，

所述冷却器具有与所述连接板相向的第二面，

所述连接板于在与所述第一面垂直的第一方向进行观察时，具有从所述泵主体的所述外周面向外侧突出的突出部，

所述第一隔热板配置于所述突出部与所述冷却器的所述第二面之间。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中所述冷却器以及所述连接板中的至少一者具有供所述第一隔热板嵌入的第一嵌入区域，且

在所述冷却器与所述连接板之间形成第一间隙，

所述第一隔热板的厚度大于所述第一间隙的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中所述泵主体以及所述连接板中的至少一者具有供所述第二隔热板嵌入的第二嵌入区域，且

在所述泵主体与所述连接板之间形成第二间隙，

所述第二隔热板的厚度大于所述第二间隙的厚度。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中所述突出部于在所述第一方向进行观察时，以至少部分包围所述泵主体的所述外周面的方式形成，

所述第一隔热板于在所述第一方向进行观察时，以至少部分包围所述泵主体的所述外周面的方式连续或间断地设置，

所述第二隔热板于在所述第一方向进行观察时，沿着所述泵主体的所述外周面连续或间断地设置。

5.一种真空泵，其中，包括：泵主体；

加热器，设置于所述泵主体；

电源装置，对所述泵主体供给电力；

冷却器，设置于所述泵主体与所述电源装置之间；

连接板，设置于所述泵主体与所述冷却器之间；以及

第一隔热板，配置于所述冷却器与所述连接板之间，并且

所述冷却器以及所述连接板中的至少一者具有供所述第一隔热板嵌入的第一嵌入区域，且

在所述冷却器与所述连接板之间形成第一间隙，

所述第一隔热板的厚度大于所述第一间隙的厚度，

其中所述泵主体具有外周面，

所述冷却器具有与所述连接板相向的相向面，

所述连接板于在与所述相向面垂直的第一方向进行观察时，具有以从所述泵主体的所述外周面向外侧突出的方式形成的突出部，

所述第一嵌入区域设置于所述冷却器以及所述突出部中的至少一者，

所述第一隔热板以嵌入至所述第一嵌入区域的方式配置于所述冷却器与所述突出部之间。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其中所述突出部于在所述第一方向进行观察时，以至少部分包围所述泵主体的所述外周面的方式形成，

所述第一嵌入区域于在所述第一方向进行观察时，以至少部分包围所述泵主体的所述外周面的方式，连续或间断地设置于所述冷却器以及所述突出部中的至少一者，

所述第一隔热板以嵌入至所述第一嵌入区域的方式配置于所述冷却器与所述突出部之间。

7.根据权利要求5或6所述的真空泵，其中于在所述第一方向进行观察时，所述第一隔热板的宽度为所述突出部的最小宽度的二分之一以下。

8.根据权利要求7所述的真空泵，其中于在所述第一方向进行观察时，所述第一隔热板的内缘部与所述泵主体的所述外周面之间的距离为所述突出部的所述最小宽度的二分之一以上。