[发明专利]一种扩散工艺中的通源操作方法、工艺设备

说明书

本申请实施例提供了扩散工艺中的通源操作方法、工艺设备，该方法包括：在满足源压补偿条件时，获取源瓶中的源液的当前液位；基于源液的当前液位和预设对应关系，确定本次执行通源操作所需的源压，其中，预设对应关系为在固定的通源关联参数下，使得每次通源操作携带的通源量相同时的液位和源压的对应关系；基于所述本次通源操作所需的源压和所述固定的通源关联参数，执行本次通源操作。本申请实施例可以提高半导体器件例如晶硅太阳能电池的方阻的合格率，大幅度提高生产稳定性，同时降低人工成本，提高生产效率。

技术领域

本申请涉及半导体领域，具体涉及扩散工艺中的通源操作方法、工艺设备。

背景技术

晶硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括切片、制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝印、烧结、测试分选等工序。在晶硅太阳能电池生产工序中，扩散工序是核心工序，控制扩散工艺质量是提升电池质量和效率的关键。

衡量扩散工艺质量的重要指标就是方阻和均匀性。不同的方阻代表不同的扩散程度，其主要与掺杂时间、掺杂温度、源流量有密切的关系。如何在均匀性较好的情况下自动调节方阻并保持工艺的一致性是目前研究的主要方向。方阻会随着工艺环境的变化产生波动。减小工艺环境变化产生的影响是维持工艺一致性的充分条件。

在每一次扩散工艺过程中，均会执行通源操作。通源操作的通源量即小氮气体携带的源液的源量，直接影响在一次扩散过程结束后一个批次的晶硅太阳能电池的方阻。

在扩散工艺流程中执行通源操作的通源量主要与在进行通源操作时采用的小氮气体的流量、小氮气体在源液中的行程、源瓶中的饱和蒸汽压、源瓶中温度等因素有关。

在小氮气体的流量、源瓶中温度等工艺参数一定的情况下，由于源液的液位的变化会导致小氮气体在源液中的行程发生变化，会影响小氮携带的源液的源量，直接影响扩散工艺过程的结果。最终，使得不同批次的晶硅太阳能电池的方阻产生波动，即至少部分批次中的每一个批次的晶硅太阳能电池与其他批次的晶硅太阳能电池的方阻不一致，晶硅太阳能电池的方阻的合格率出现较大幅度的降低。

发明内容

为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种扩散工艺中的通源操作方法、工艺设备。

根据本申请实施例的第一方面，提供一种扩散工艺中的通源操作方法，包括：

在满足源压补偿条件时，获取源瓶中的源液的当前液位；

基于所述当前液位和预设对应关系，确定执行本次通源操作所需的源压，其中，所述预设对应关系为在固定的通源关联参数下，使得每次通源操作携带的通源量相同时的液位和源压的对应关系；

基于所述本次通源操作所需的源压和所述固定的通源关联参数，执行所述本次通源操作。

根据本申请实施例的第二方面，提供一种工艺设备，包括：

获取单元，被配置为在满足源压补偿条件时，获取源瓶中的源液的当前液位；

确定单元，被配置为基于所述当前液位和预设对应关系，确定本次执行通源操作所需的源压，其中，所述预设对应关系为在固定的通源关联参数下，使得每次通源操作携带的通源量相同时的液位和源压的对应关系；

执行单元，被配置为基于所述本次通源操作所需的源压和所述固定的通源关联参数，执行所述本次通源操作。