[发明专利]一种半导体封装工艺在审
申请号: | 202010866703.8 | 申请日: | 2020-08-25 |
公开(公告)号: | CN112002646A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 刘明平 | 申请(专利权)人: | 湖南方彦半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/56;H01L23/495 |
代理公司: | 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 | 代理人: | 李赜 |
地址: | 416000 湖南省湘西土家族*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 工艺 | ||
本发明涉及半导体封装的技术领域,特别是涉及一种半导体封装工艺,具有良品率高,生产效率高,并且节省电能以及原材料的优点;包括以下步骤:S1、通过冲压成型方式,形成半导体引线框架;S2、对半导体引线框架表面进行镀锡镀镍特殊表层处理;S3、在半导体引线框架表面均匀制作焊盘;S4、通过注塑方式在半导体引线框架边缘区域形成塑胶框架;S5、将芯片贴在半导体引线框架的中部;S6、焊线焊接;S7、滴胶盖帽:使用点胶机将改性环氧树脂分子滴在芯片处,使胶将芯片、焊线以及焊盘覆盖住,然后进行冷却;S8、打标、测试后封管。
技术领域
本发明涉及半导体封装的技术领域,特别是涉及一种半导体封装工艺。
背景技术
众所周知,目前半导体传感芯片引线框架表面处理采用镀银镀金工艺,具有以下缺点:一是氰化物在电镀工艺中起到络合的作用,使之在阴极得到电子沉积下来,有氰化物络合使镀层细密光滑,成品质量较高,氰化物和目标金属离子形成的络合物在阴极附近聚集,形成阴极极化的效果,阴极极化程度越高越好,传统引线框架表面处理采用镀银镀金氰化电镀工艺,氰化物在生产过程中所产生的废气可危害生命,氰化物有固废,废液,废气等,国家环保提倡电镀工艺为微氰电镀及无氰电镀,固废和液废都非常难收回;二是金线成本高,辅材投入大,半导体封装后端设备投入巨大,模压效率低。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种半导体封装工艺,具有良品率高,生产效率高,并且节省电能以及原材料的优点。
本发明的一种半导体封装工艺,包括以下步骤:
S1、通过冲压成型方式,形成半导体引线框架;
S2、对半导体引线框架表面进行镀锡镀镍特殊表层处理;
S3、在半导体引线框架表面均匀制作焊盘;
S4、通过注塑方式在半导体引线框架边缘区域形成塑胶框架;
S5、将芯片贴在半导体引线框架的中部;
S6、焊线焊接;
S7、滴胶盖帽:使用点胶机将改性环氧树脂分子滴在芯片处,使胶将芯片、焊线以及焊盘覆盖住,然后进行冷却;
S8、打标、测试后封管。
本发明的一种半导体封装工艺,所述步骤S6以及S7中焊线以纯金为基础,添加合金,并加入多种微量元素。
本发明的一种半导体封装工艺,所述步骤S7中改性环氧树脂分子内部添加凝固催化剂,并且滴胶处于负压环境下。
本发明的一种半导体封装工艺,所述步骤S2中镀锡采用甲基磺酸锡工艺,镀镍采用氨基磺酸镍工艺。
与现有技术相比本发明的有益效果为:第一、新工艺采用镀锡镀镍,甲基磺酸锡、氨基磺酸镍工艺不需要氰化物络合,属于无氰电镀工艺,镀锡:增进焊接能力,镀镍:增进抗蚀能力及耐磨能力;第二、通过对环氧树脂分子改性,其冲击强度、拉伸度、耐温、搞疲劳等等提高,并掺入凝固催化剂抽真空,使整体工艺时间缩短,点胶成形,固化后形成完整平面,后段直接打标、测试封管,节省后段模压设备投入及其工艺时间和能源损耗;第三、新型焊线在纯金材料的基础上采用多元掺杂合金,加入多种微量稀有金属元素,减少金属化合物的形成,同时阻止界面氧化物和断裂的产生,降低了结合性能的退化,达到传统性能同样的稳定性。键合为降低电力损耗,新型焊线具有较高的相对导电性和良好的受电性,提高抗拉强度,抗软化温度,贯通晶圆片的互连,它通过直接钻过裸电绑定焊盘,为连接绑定焊盘提供了最短的路径,然后把导电材料与通孔连接起来,允许焊球从裸片绑定焊盘被重新分布,以满足裸片边缘标准和定制球形的要求。
具体实施方式
下面结合实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造