[发明专利]一种半导体封装工艺在审

专利信息
申请号: 202010866703.8 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN112002646A 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 刘明平 申请(专利权)人: 湖南方彦半导体有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L21/56;H01L23/495
代理公司: 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 代理人: 李赜
地址: 416000 湖南省湘西土家族*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 封装 工艺
【说明书】:

发明涉及半导体封装的技术领域,特别是涉及一种半导体封装工艺,具有良品率高,生产效率高,并且节省电能以及原材料的优点;包括以下步骤:S1、通过冲压成型方式,形成半导体引线框架;S2、对半导体引线框架表面进行镀锡镀镍特殊表层处理;S3、在半导体引线框架表面均匀制作焊盘;S4、通过注塑方式在半导体引线框架边缘区域形成塑胶框架;S5、将芯片贴在半导体引线框架的中部;S6、焊线焊接;S7、滴胶盖帽:使用点胶机将改性环氧树脂分子滴在芯片处,使胶将芯片、焊线以及焊盘覆盖住,然后进行冷却;S8、打标、测试后封管。

技术领域

本发明涉及半导体封装的技术领域,特别是涉及一种半导体封装工艺。

背景技术

众所周知,目前半导体传感芯片引线框架表面处理采用镀银镀金工艺,具有以下缺点:一是氰化物在电镀工艺中起到络合的作用,使之在阴极得到电子沉积下来,有氰化物络合使镀层细密光滑,成品质量较高,氰化物和目标金属离子形成的络合物在阴极附近聚集,形成阴极极化的效果,阴极极化程度越高越好,传统引线框架表面处理采用镀银镀金氰化电镀工艺,氰化物在生产过程中所产生的废气可危害生命,氰化物有固废,废液,废气等,国家环保提倡电镀工艺为微氰电镀及无氰电镀,固废和液废都非常难收回;二是金线成本高,辅材投入大,半导体封装后端设备投入巨大,模压效率低。

发明内容

为解决上述技术问题,本发明提供一种半导体封装工艺,具有良品率高,生产效率高,并且节省电能以及原材料的优点。

本发明的一种半导体封装工艺,包括以下步骤:

S1、通过冲压成型方式,形成半导体引线框架;

S2、对半导体引线框架表面进行镀锡镀镍特殊表层处理;

S3、在半导体引线框架表面均匀制作焊盘;

S4、通过注塑方式在半导体引线框架边缘区域形成塑胶框架;

S5、将芯片贴在半导体引线框架的中部;

S6、焊线焊接;

S7、滴胶盖帽:使用点胶机将改性环氧树脂分子滴在芯片处,使胶将芯片、焊线以及焊盘覆盖住,然后进行冷却;

S8、打标、测试后封管。

本发明的一种半导体封装工艺,所述步骤S6以及S7中焊线以纯金为基础,添加合金,并加入多种微量元素。

本发明的一种半导体封装工艺,所述步骤S7中改性环氧树脂分子内部添加凝固催化剂,并且滴胶处于负压环境下。

本发明的一种半导体封装工艺,所述步骤S2中镀锡采用甲基磺酸锡工艺,镀镍采用氨基磺酸镍工艺。

与现有技术相比本发明的有益效果为:第一、新工艺采用镀锡镀镍,甲基磺酸锡、氨基磺酸镍工艺不需要氰化物络合,属于无氰电镀工艺,镀锡:增进焊接能力,镀镍:增进抗蚀能力及耐磨能力;第二、通过对环氧树脂分子改性,其冲击强度、拉伸度、耐温、搞疲劳等等提高,并掺入凝固催化剂抽真空,使整体工艺时间缩短,点胶成形,固化后形成完整平面,后段直接打标、测试封管,节省后段模压设备投入及其工艺时间和能源损耗;第三、新型焊线在纯金材料的基础上采用多元掺杂合金,加入多种微量稀有金属元素,减少金属化合物的形成,同时阻止界面氧化物和断裂的产生,降低了结合性能的退化,达到传统性能同样的稳定性。键合为降低电力损耗,新型焊线具有较高的相对导电性和良好的受电性,提高抗拉强度,抗软化温度,贯通晶圆片的互连,它通过直接钻过裸电绑定焊盘,为连接绑定焊盘提供了最短的路径,然后把导电材料与通孔连接起来,允许焊球从裸片绑定焊盘被重新分布,以满足裸片边缘标准和定制球形的要求。

具体实施方式

下面结合实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。

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