[发明专利]一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺

说明书

一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺，涉及感光化学技术领域。制备装置包括用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。

技术领域

本发明涉及感光化学技术领域，具体而言，涉及一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺。

背景技术

现有的用于制备电子级铝蚀刻液的设备结构较为复杂，各个部件之间的配合控制难度也较高，使用起来相对繁琐，生产效率在一定程度上受到了抑制。

有鉴于此，特提出本申请。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。

本发明的第二个目的在于提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备工艺，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。

本发明的实施例是这样实现的：

一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其包括：用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。

进一步地，精密过滤器的滤芯包括：骨架和滤材。骨架包括辅助叶和呈圆筒状的中心筒体，辅助叶包括第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶。中心筒体的侧壁开设有供滤液通过的过液通道。

第一延伸叶和第三延伸叶均沿中心筒体的径向延伸设置，且二者均沿中心筒体的轴向连续设置。第二延伸叶呈圆弧状，第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线同中心筒体的轴心线平行设置，第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线位于其靠近中心筒体的一侧。第二延伸叶也沿中心筒体的轴向连续设置。第一延伸叶连接于中心筒体的外壁，第二延伸叶连接于第一延伸叶的远离中心筒体的一端，第三延伸叶连接于第二延伸叶的远离第一延伸叶的一端。

多组辅助叶沿中心筒体的周向间隔设置，相邻两组辅助叶中一者的第一延伸叶位于另一者的第二延伸叶和中心筒体之间的区域。

进一步地，第二延伸叶所对应的圆柱的半径大于中心筒体的半径。

进一步地，第一延伸叶沿第二延伸叶所对应的圆柱的径向设置。

进一步地，相邻两组辅助叶中，二者的第一延伸叶之间的最小间距为第一预设间距，二者的第二延伸叶之间的最小间距为第二预设间距，二者的第三延伸叶之间的最小间距为第三预设间距。其中，第三预设间距＞第一预设间距＞第二预设间距。

进一步地，骨架还包括：第四延伸叶。第四延伸叶呈圆筒状并同中心筒体同轴设置，第四延伸叶的内壁同第三延伸叶的远离第二延伸叶的一端连接。沿中心筒体的轴向，中心筒体、第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶和第四延伸叶四者的长度相同。第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，缺口沿第四延伸叶的周向连续延伸呈环状。缺口靠近第四延伸叶的一端端部设置，过液通道设置于中心筒体的远离缺口的一端。

进一步地，中心筒体的过液通道沿中心筒体的周向连续延伸呈环状。