[发明专利]一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺

权利要求书

1.一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其特征在于，包括：

用于储备原料硝酸的第一储槽；

用于储备原料磷酸的第二储槽；

用于储备原料冰醋酸的第三储槽；

用于储备原料超纯水的第四储槽；

混配槽；以及

精密过滤器；

所述第一储槽、所述第二储槽、所述第三储槽和所述第四储槽均同所述混配槽选择性地连通，所述混配槽的出口同所述精密过滤器的进口连通；

所述精密过滤器的滤芯包括：骨架和滤材；所述骨架包括辅助叶和呈圆筒状的中心筒体，所述辅助叶包括第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶；所述中心筒体的侧壁开设有供滤液通过的过液通道；

所述第一延伸叶和所述第三延伸叶均沿所述中心筒体的径向延伸设置，且二者均沿所述中心筒体的轴向连续设置；所述第二延伸叶呈圆弧状，所述第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线同所述中心筒体的轴心线平行设置，所述第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线位于其靠近所述中心筒体的一侧；所述第二延伸叶也沿所述中心筒体的轴向连续设置；所述第一延伸叶连接于所述中心筒体的外壁，所述第二延伸叶连接于所述第一延伸叶的远离所述中心筒体的一端，所述第三延伸叶连接于所述第二延伸叶的远离所述第一延伸叶的一端；

多组所述辅助叶沿所述中心筒体的周向间隔设置，相邻两组所述辅助叶中一者的所述第一延伸叶位于另一者的所述第二延伸叶和所述中心筒体之间的区域；

所述第二延伸叶所对应的圆柱的半径大于所述中心筒体的半径；

所述第一延伸叶沿所述第二延伸叶所对应的圆柱的径向设置；

相邻两组所述辅助叶中，二者的所述第一延伸叶之间的最小间距为第一预设间距，二者的所述第二延伸叶之间的最小间距为第二预设间距，二者的所述第三延伸叶之间的最小间距为第三预设间距；其中，所述第三预设间距＞所述第一预设间距＞所述第二预设间距。

2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述骨架还包括：第四延伸叶；所述第四延伸叶呈圆筒状并同所述中心筒体同轴设置，所述第四延伸叶的内壁同所述第三延伸叶的远离所述第二延伸叶的一端连接；沿所述中心筒体的轴向，所述中心筒体、所述第一延伸叶、所述第二延伸叶、所述第三延伸叶和所述第四延伸叶四者的长度相同；所述第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，所述缺口沿所述第四延伸叶的周向连续延伸呈环状；所述缺口靠近所述第四延伸叶的一端端部设置，所述过液通道设置于所述中心筒体的远离所述缺口的一端。

3.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于，所述中心筒体的所述过液通道沿所述中心筒体的周向连续延伸呈环状。

4.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述骨架还包括：第四延伸叶；所述第四延伸叶呈圆筒状并同所述中心筒体同轴设置，所述第四延伸叶的内壁同所述第三延伸叶的远离所述第二延伸叶的一端连接；沿所述中心筒体的轴向，所述中心筒体、所述第一延伸叶、所述第二延伸叶、所述第三延伸叶和所述第四延伸叶四者的长度相同；所述第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，所述缺口沿所述第四延伸叶的周向延伸，沿所述第四延伸叶的周向，所述缺口所对应的圆心角度数小于相邻两组所述辅助叶的所述第三延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数；相邻两组所述辅助叶的所述第三延伸叶之间的区域均对应设置有一个所述缺口。

5.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于，所述中心筒体的所述过液通道也沿所述中心筒体的周向延伸，沿所述中心筒体的周向，所述过液通道所对应的圆心角度数小于相邻两组所述辅助叶的所述第一延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数；相邻两组所述辅助叶的所述第一延伸叶之间的区域均对应设置有一个所述过液通道；

所述过液通道所对应的圆心角度数与相邻两组所述辅助叶的所述第一延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第一预设比值，所述缺口所对应的圆心角度数与相邻两组所述辅助叶的所述第三延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第二预设比值，所述第一预设比值同所述第二预设比值相等；

所述的制备装置制备电子级铝蚀刻液的制备工艺，包括：按预设比例于所述混配槽中混配原料硝酸、原料磷酸、原料冰醋酸和原料超纯水，经所述精密过滤器过滤后分装入库。