[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

该激光加工装置具有：

卡盘工作台，其对被加工物进行保持；

激光束照射单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物照射脉冲状的激光束；

加工进给单元，其将该卡盘工作台和该激光束照射单元相对地进行加工进给；

分度进给单元，其将该卡盘工作台和该激光束照射单元相对地进行分度进给；以及

控制单元，

该激光束照射单元包含：

激光振荡器；

反射镜，其对从该激光振荡器射出的激光束进行反射而向加工点传播；

输出测量单元，其对未被该反射镜反射而透过的激光束的漏光的输出进行测量；以及

聚光透镜，其将通过该反射镜而传播的激光束会聚而照射至被加工物，

该控制单元一边对被加工物照射激光束一边利用该输出测量单元对该激光束的漏光的输出进行测量。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该控制单元包含：

信号生成部，其生成对该激光振荡器的脉冲振荡的时机进行控制的信号；以及

信号同步部，其使该信号生成部所生成的信号与利用该输出测量单元对激光束的漏光的输出进行测量的时机同步，

仅在从该激光振荡器振荡出脉冲激光的期间利用该输出测量单元对激光束的漏光的输出进行测量。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

该激光束的漏光通过配设在该输出测量单元的前方的仅使加工中所使用的波长的激光束透过的波长选择滤波器而入射至该输出测量单元。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

该输出测量单元是位置检测元件。

5.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

该控制单元还包含警告通知部，当该输出测量单元所测量的激光束的漏光的输出超出规定的阈值的范围时，该警告通知部通知警告。

6.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

该输出测量单元与测量激光束的漏光的输出同时地测量位置信息。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其中，

该控制单元还包含合格与否判定部和记录部中的至少任意一个，

该合格与否判定部对该输出测量单元所测量的激光束的漏光的位置的变动量是否在规定的阈值的范围内进行判定，

该记录部对该输出测量单元所测量的数据进行记录。