[发明专利]阀装置以及成膜装置在审
申请号: | 202010847285.8 | 申请日: | 2020-08-21 |
公开(公告)号: | CN112413151A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 星野孝雄;相泽雄树 | 申请(专利权)人: | 佳能特机株式会社 |
主分类号: | F16K3/02 | 分类号: | F16K3/02;F16K3/30;F16K3/314;F16K31/52;F16K41/10;C23C14/04;C23C14/56 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 刘杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 以及 | ||
本发明提供阀装置以及成膜装置,阀装置的特征在于,具备:阀芯,设置在真空装置的内部;轴,一端侧与所述阀芯连结,另一端侧通过设置于所述真空装置的插通孔向外部突出,通过进退来使所述阀芯进行打开动作或关闭动作;伸缩构件,将所述插通孔和所述轴的一部分以气密状态覆盖,伴随所述轴的进退而伸缩;以及密封构件,与所述伸缩构件分体设置,在使所述阀芯进行打开动作时,能够将所述阀芯与所述插通孔之间密封。
技术领域
本发明涉及对成为真空腔室的被处理体的搬入搬出通路的开口进行开闭的阀装置以及包括该阀装置的成膜装置。
背景技术
最近,作为平板显示装置,有机EL显示装置受到注目。有机EL显示装置是自发光显示器,响应速度、视场角、薄型化等特性优于液晶面板显示器,通过以监视器、电视机、智能手机为代表的各种便携终端等以较快的速度代替了现有的液晶面板显示器。另外,也将其应用领域扩大到汽车用显示器等。
有机EL显示装置的元件具有在两个相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL显示装置的元件的有机物层和电极金属层通过在成膜装置内隔着形成有像素图案的掩模将蒸镀物质成膜于基板来制造。
用于制造这样的有机EL显示装置的生产线通常构成为,一边在多个成膜室之间依次搬送基板等被处理体一边进行成膜。这些成膜室在成膜工序中由维持为真空的真空腔室构成,相邻的真空腔室之间由被称为门阀的阀装置隔开。即,在各真空腔室形成有成为基板等被处理体的搬入搬出通路的开口,在成膜过程中,使门阀进行关闭动作,将该开口遮断而进行成膜,在成膜前后向该真空腔室搬入或者从该真空腔室搬出基板等被处理体时,使门阀进行打开动作,能够经由开口使基板等被处理体往返。
图7表示这样的门阀的现有例的结构。图7是从与搬送基板等被处理体的方向垂直的方向观察的侧视图。在相邻的真空腔室100、200之间配置有阀腔室300,在阀腔室300设置有通过打开及关闭动作而对真空腔室的开口101进行开闭的阀装置301。阀装置301包括阀芯302和一端与阀芯302连结且使阀芯302升降的轴303。轴303构成为,另一端经由形成于阀腔室300的插通孔304向外部突出,另一端侧顶端部与凸轮构造体305连结,由此根据进退(升降)动作利用阀芯302将开口101打开或关闭。具体而言,通过轴303的下降,阀芯302也下降,开口101成为打开状态(图7(b)),相反,若轴303上升至阀芯302来到与开口101对应的位置,则阀芯302由与轴303的另一端侧连结的凸轮构造体305朝向开口101按压,由此,阀芯302与开口101的周围面贴紧而关闭开口101(图7(a))。
另一方面,如所示那样,在阀芯302升降时,为了将配置有阀芯302的真空装置的内部空间维持真空状态,向外部突出的轴303的一部分以及插通孔304通过与轴的进退对应地伸缩的波纹管等伸缩构件306而被密封为气密状态。但是,该气密维持用的伸缩构件有时会经常破损。若伸缩构件的波纹管破损而形成孔,则外部的大气从此处进入真空装置内,这对成膜造成严重的不良影响。因此,若发生这样的外部大气的流入(泄漏;leak)事态,则不得不使生产线停止,在进行破损的波纹管的更换作业后重新开始工序,因此,相应地存在生产中断的问题。另外,根据作业者不同,若发生泄漏事态,则有时也会通过在波纹管的破损部位涂敷润滑脂(grease)等采取紧急对策而继续成膜,但这也可能引起密封不充分或润滑脂飞散等其他的问题。
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的目的在于提供一种具备紧急应对部件的阀装置以及包括该阀装置的成膜装置,该紧急应对部件能够在发生这样的泄漏事态时更可靠地阻止大气向真空装置的流入。
用于解决课题的技术方案
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