[发明专利]阀装置以及成膜装置

权利要求书

1.一种阀装置，其特征在于，

该阀装置具备：

阀芯，设置在真空装置的内部；

轴，一端侧与所述阀芯连结，另一端侧通过设置于所述真空装置的插通孔向外部突出，通过进退来使所述阀芯进行打开动作或关闭动作；

伸缩构件，将所述插通孔和所述轴的一部分以气密状态覆盖，伴随所述轴的进退而伸缩；以及

密封构件，与所述伸缩构件分体设置，在使所述阀芯进行打开动作时，能够将所述阀芯与所述插通孔之间密封。

2.根据权利要求1所述的阀装置，其特征在于，

该阀装置进一步包括锁定机构，该锁定机构在以通过所述密封构件将所述阀芯与所述插通孔之间密封的方式打开所述阀芯的状态下，保持所述阀芯。

3.根据权利要求1所述的阀装置，其特征在于，

该阀装置进一步包括打开位置控制部件，该打开位置控制部件在使所述阀芯进行打开动作时，能够进行控制，以使所述阀芯位于通过所述密封构件将所述阀芯与所述插通孔之间密封的第1打开位置和防止基于所述密封构件的密封的第2打开位置中的任一位置。

4.根据权利要求3所述的阀装置，其特征在于，

所述打开位置控制部件是在使所述阀芯进行打开动作时限制所述阀芯的移动以使所述阀芯位于所述第2打开位置的止挡构件。

5.根据权利要求4所述的阀装置，其特征在于，

所述轴的另一端与作动缸构造体连结，且能够在所述作动缸构造体内移动，

所述止挡构件是插入到所述作动缸构造体的所述轴的另一端的移动路径中的销。

6.根据权利要求4所述的阀装置，其特征在于，

所述止挡构件是在比所述插通孔靠上部的所述真空装置的侧壁，在与所述阀芯的移动方向垂直的方向上朝向所述真空装置能够进退地设置的作动缸构件。

7.一种阀装置，其特征在于，

该阀装置具备：

阀芯，设置在真空装置的内部；

轴，一端侧与所述阀芯连结，另一端侧通过形成于所述真空装置的插通孔向外部突出，通过进退来使所述阀芯进行打开动作或关闭动作；以及

密封构件，设置于所述真空装置内表面的所述插通孔的周围位置或所述阀芯的与所述插通孔相向的插通孔相向面部，

在使所述阀芯进行打开动作时，能够利用所述密封构件将所述插通孔相向面部与所述插通孔的周围位置之间密封。

8.根据权利要求7所述的阀装置，其特征在于，

该阀装置进一步包括伸缩构件，该伸缩构件将所述插通孔和所述轴的一部分以气密状态覆盖，伴随所述轴的进退而伸缩。

9.根据权利要求8所述的阀装置，其特征在于，

所述密封构件包括设置于所述阀芯的所述插通孔相向面部的O型圈和设置于所述真空装置的内表面的所述插通孔的周围位置的密封面。

10.根据权利要求8所述的阀装置，其特征在于，

所述密封构件包括设置于所述真空装置的内表面的所述插通孔的周围位置的O型圈和设置于所述阀芯的所述插通孔相向面部的密封面。

11.根据权利要求8所述的阀装置，其特征在于，

该阀装置进一步包括：检测机构，检测来自所述伸缩构件的泄漏；以及阀芯控制机构，根据来自所述检测机构的信号使所述阀芯进行打开动作。

12.根据权利要求8所述的阀装置，其特征在于，

该阀装置进一步包括锁定机构，该锁定机构在以通过所述密封构件将所述插通孔相向面部与所述插通孔的周围位置之间密封的方式打开所述阀芯的状态下，保持所述阀芯。