[发明专利]用于塞铜工艺FPC的涨缩预测方法、装置、设备及存储介质在审

专利信息
申请号: 202010844703.8 申请日: 2020-08-20
公开(公告)号: CN112131825A 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 陈康;陈勇利;韩佳明;计美阳 申请(专利权)人: 瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司;瑞声精密制造科技(常州)有限公司
主分类号: G06F30/398 分类号: G06F30/398;G06F16/903;G06F115/12
代理公司: 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 代理人: 李小东
地址: 213167 江苏省常州市武进*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 用于 工艺 fpc 预测 方法 装置 设备 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种用于塞铜工艺FPC的涨缩预测方法,其特征在于,包括:

获取待加工FPC的设计信息、物料信息以及工站信息;

将所述设计信息、所述物料信息以及所述工站信息与涨缩信息数据库进行比对,获得比对结果;

当所述比对结果为所述涨缩信息数据库中存在与所述设计信息、所述物料信息以及所述工站信息均相似的数据时,获取所述涨缩信息数据库中相应的历史涨缩值,将所述历史涨缩值确定为涨缩预测结果。

2.根据权利要求1所述的涨缩预测方法,其特征在于,所述涨缩信息数据库包括历史设计信息、历史物料信息、历史工站信息以及历史涨缩值,所述将所述设计信息、所述物料信息以及所述工站信息与涨缩信息数据库进行比对,获得比对结果的步骤包括:

判断所述历史设计信息与所述设计信息是否相似;

判断所述历史物料信息与所述物料信息是否相似;

判断所述历史工站信息与所述工站信息是否相似;

当同时满足所述历史设计信息与所述设计信息相似、所述历史物料信息与所述物料信息相似以及所述历史工站信息与所述工站信息相似时,所述比对结果为所述涨缩信息数据库中存在与所述设计信息、所述物料信息以及所述工站信息均相似的数据。

3.根据权利要求2所述的涨缩预测方法,其特征在于,所述设计信息包括各层的拼板设计、残铜率、激光盲孔数量、孔径及盲孔分布;所述判断所述历史设计信息与所述设计信息是否相似的步骤包括:

判断所述拼板设计的相似度是否大于90%;

判断所述残铜率的相似度是否大于85%;

判断所述激光盲孔数量、孔径及盲孔分布的相似度是否大于80%;

当同时满足所述拼板设计的相似度大于90%、所述残铜率的相似度大于85%以及所述激光盲孔数量、孔径及盲孔分布的相似度大于80%时,确定所述历史设计信息与所述设计信息相似。

4.根据权利要求2所述的涨缩预测方法,其特征在于,所述物料信息包括各层FCCL型号及批次号、各批次FCCL的尺寸安定性测试信息、曝光菲林的涨缩信息、PET型号;所述判断所述历史物料信息与所述物料信息是否相似的步骤包括:

分别判断所述FCCL类型、所述批次号以及所述PET型号是否相同;

判断所述FCCL的尺寸安定性测试信息的相似度是否大于95%;

判断所述曝光菲林的涨缩信息的相似度是否大于95%;

当同时满足所述FCCL类型、所述批次号以及所述PET型号均相同、所述FCCL的尺寸安定性测试信息的相似度大于95%以及所述曝光菲林的涨缩信息的相似度大于95%时,确定所述历史物料信息与所述物料信息相似。

5.根据权利要求2所述的涨缩预测方法,其特征在于,所述工站信息包括各层的显影与蚀刻线速信息、打靶数量及分布信息、PET贴合与剥离参数信息、铜膏填充参数信息;所述判断所述历史工站信息与所述工站信息是否相似的步骤包括:

判断所述显影与蚀刻线速信息的相似度是否大于95%;

判断所述打靶数量及分布信息的相似度是否大于90%;

判断所述PET贴合与剥离参数信息的相似度是否大于85%;

判断所述铜膏填充参数信息的相似度是否大于85%;

当同时满足所述显影与蚀刻线速信息的相似度大于95%、所述打靶数量及分布信息的相似度大于90%、所述PET贴合与剥离参数信息的相似度大于85%、所述铜膏填充参数信息的相似度大于85%时,确定所述历史工站信息与所述工站信息相似。

6.根据权利要求1所述的涨缩预测方法,其特征在于,在所述将所述设计信息、所述物料信息以及所述工站信息与涨缩信息数据库进行比对,获得比对结果的步骤之后,还包括:

当所述比对结果为所述涨缩信息数据库中不存在与所述设计信息、所述物料信息以及所述工站信息均相似的数据时,由人工分析出涨缩预测结果。

7.根据权利要求1所述的涨缩预测方法,其特征在于,所述涨缩预测方法还包括:

根据FPC的各层线路的历史设计信息、历史物料信息、历史工站信息以及所述历史涨缩值建立所述涨缩信息数据库。

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