[发明专利]一种超高真空下原位多功能样品处理装置

说明书

本发明提供了一种超高真空下原位多功能样品处理装置，包括第一驱动装置、样品托切换装置、真空腔室、第二驱动装置；其中，所述真空腔室内部设置有第一样品托停放台、第二样品托停放台和多工位样品托停放台；所述第一驱动装置位于所述真空腔室上方并与所述第一样品托停放台固定连接；所述第二驱动装置位于所述真空腔室下方并与所述第二样品托停放台固定连接；所述样品托切换装置位于所述真空腔室侧方并与所述多工位样品托停放台固定连接。其中本发明的有益效果是：同时在同一装置中能够实现机械解理二维材料、样品转移、多层样品的剥离、薄膜样品制备、粘合电极触点等多功能中任一种功能，本发明适普性高，便于操作。

技术领域

本发明涉及超高真空领域，特别涉及一种超高真空下原位多功能样品处理装置。

背景技术

现有的在超高空环境下的二维材料机械解理的装置或设备都具有专一性，缺乏普适性，同时没有一种装置或者设备在超高真空实现能实现二维材料机械解理、样品转移、多层样品的剥离、薄膜样品制备、粘合电极触点等多功能。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明中披露了一种超高真空下原位多功能样品处理装置，本发明的技术方案是这样实施的：

一种超高真空下原位多功能样品处理装置，包括第一驱动装置、样品托切换装置、真空腔室和第二驱动装置；其中，所述真空腔室内部设置有第一样品托停放台和第二样品托停放台；所述第一驱动装置位于所述真空腔室上方并与所述第一样品托停放台固定连接；所述第二驱动装置位于所述真空腔室下方并与所述多工位样品托停放台固定连接；所述样品托切换装置包括样品托抓取头，所述样品托抓取头位于所述真空腔室侧方并与所述真空腔室固定连接。

优选地，所述样品托切换装置还包括多工位样品托停放台，所述多工位样品托停放台位于所述真空腔室内。

优选地，所述多工位样品托停放台放置有带有铟片的样品托。

优选地，所述第一驱动装置包括旋转驱动装置和直线驱动装置。

优选地，所述第二样品托停放台与所述第二驱动装置连接处还设置有弹簧。

优选地，所述弹簧为不锈钢304弹簧。

优选地，所述第二样品托停放台设置有插销，所述第一样品托停放台设置有与所述插销对应的插销孔。

优选地，还包括传样机构；所述传样机构位于所述真空腔室一侧。

实施本发明的技术方案可解决现有技术超高空环境下的二维材料机械解理的装置或设备都具有专一性，缺乏普适性的技术问题；实施本发明的技术方案，可实现同时在同一装置中能够实现机械解理二维材料、样品转移、多层样品的剥离、薄膜样品制备、粘合电极触点等多功能中任一种功能的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

图1为本发明的结构示意图；

图2为真空腔室内部结构示意图；

图3为弹簧安装结构示意图。

在上述附图中，各图号标记分别表示：

1，第一驱动装置