[发明专利]一种超高真空下原位多功能样品处理装置

权利要求书

1.一种超高真空下原位多功能样品处理装置，其特征在于：包括第一驱动装置、样品托切换装置、真空腔室和第二驱动装置；其中，所述真空腔室内部设置有第一样品托停放台和第二样品托停放台；所述第一驱动装置位于所述真空腔室上方并与所述第一样品托停放台固定连接；所述第二驱动装置位于所述真空腔室下方并与所述第二样品托停放台固定连接；所述样品托切换装置包括样品托抓取头，所述样品托抓取头位于所述真空腔室侧方并与所述真空腔室固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种超高真空下原位多功能样品处理装置，其特征在于：所述样品托切换装置还包括多工位样品托停放台，所述多工位样品托停放台位于所述真空腔室内。

3.根据权利要求2所述的一种超高真空下原位多功能样品处理装置，其特征在于：所述多工位样品托停放台放置有带有铟片的样品托。

4.根据权利要求1所述的一种超高真空下原位多功能样品处理装置，其特征在于：所述第一驱动装置包括旋转驱动装置和直线驱动装置。

5.根据权利要求1所述的一种超高真空下原位多功能样品处理装置，其特征在于：所述第二样品托停放台与所述第二驱动装置连接处还设置有弹簧。

6.根据权利要求5所述的一种超高真空下原位多功能样品处理装置，其特征在于：所述弹簧为不锈钢304弹簧。

7.根据权利要求1所述的一种超高真空下原位多功能样品处理装置，其特征在于：所述第二样品托停放台设置有插销，所述第一样品托停放台设置有与所述插销对应的插销孔。

8.根据权利要求1所述的一种超高真空下原位多功能样品处理装置，其特征在于：还包括传样机构；所述传样机构位于所述真空腔室一侧。