[发明专利]测量装置、被加工物的检查方法以及图像数据的显示方法

权利要求书

1.一种测量装置，其对加工后的被测量物进行测量，其中，

该测量装置具有：

被测量物保持机构，其对该被测量物进行保持；

拍摄机构，其对该被测量物保持机构所保持的被测量物进行拍摄，形成图像数据；

移动机构，其使该拍摄机构相对于该被测量物保持机构相对移动；

控制器，其具有存储该图像数据的存储部；以及

显示监视器，其显示该图像数据，

该显示监视器具有：

位置指定图像显示区域，其显示位置指定图像，该位置指定图像是基于利用该移动机构使该拍摄机构移动并按照各小区段依次进行拍摄而得到的图像数据而形成的；以及

放大图像显示区域，其显示在该位置指定图像显示区域中显示出的被测量物的指定位置的放大图像和/或规定的测量值。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

该被测量物保持机构具有载置面，该载置面由透明体构成，该透明体构成对被测量物进行保持的保持面，

该拍摄单元具有：

上方拍摄单元，其对被测量物的上表面进行拍摄；以及

下方拍摄单元，其隔着该载置面而与该上方拍摄单元相对地配设，对被测量物的下表面进行拍摄，

该位置指定图像显示区域和该放大图像显示区域分别构成为能够显示基于由该上方拍摄单元和该下方拍摄单元分别拍摄而得到的图像数据的位置指定图像、放大图像以及规定的测量值中的至少一个。

3.一种被加工物的检查方法，利用权利要求1或2所述的测量装置对被测量物进行检查，其中，

该被加工物的检查方法具有如下的步骤：

保持步骤，利用该被测量物保持机构对被测量物进行保持；

拍摄步骤，利用该拍摄机构对该被测量物保持机构所保持的被测量物进行拍摄；

被测量物搬出步骤，在实施了该拍摄步骤之后，从该被测量物保持机构搬出被测量物；以及

显示步骤，在实施了该被测量物搬出步骤之后，在该显示监视器上显示基于该图像数据的位置指定图像、放大图像以及规定的测量值中的至少一个。

4.一种被测量物的图像数据的显示方法，该显示方法是加工后的被测量物的图像数据的显示方法，其中，

在该被测量物的图像数据的显示方法中显示位置指定图像、放大图像以及规定的测量值中的至少一个，该位置指定图像是基于对该被测量物按照各小区段依次进行拍摄而得到的图像数据而形成的，该放大图像是该位置指定图像的指定位置的该被测量物的放大图像，该规定的测量值是根据该图像数据而测量出的。