[发明专利]一种晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置

说明书

本申请实施例提供了晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置，该方法包括：生成可行移动集合；基于可行移动集合，生成多个移动分支，构成第一分支集合；依次访问经过排序的第一分支集合中的每一个分支，查找满足预设的可执行条件的移动分支；在查找到满足可执行条件的移动分支时，停止访问其他移动分支，根据执行该移动分支后晶圆清洗设备中的全部物料是否均处于安全位置，执行相应的操作。由此，在每一次调度过程中，不仅可以确保调度的安全性，还可以确保选择出的可执行的移动分支为在产能方面较优的移动分支或在对物料进行处理之后物料的工艺精度方面较优的移动分支。提升晶圆清洗设备的产能、对物料进行处理之后物料的工艺精度。

技术领域

本申请涉及半导体领域，具体涉及晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置。

背景技术

在晶圆清洗设备的工作过程中，对晶圆清洗设备中的机械手进行调度以分配晶圆清洗设备中的机械手执行的移动即move是最为关键的环节。目前，通常采用的方式为：根据晶圆清洗设备中的每一个机械手的可行移动，确定多个可能作为可执行移动分支，从多个可能作为可执行移动分支中查找在执行之后不会出现死锁情况的移动分支，一旦查找到在执行之后不会出现死锁情况的移动分支，停止查找，将查找到的移动分支作为可执行移动分支，执行可执行移动分支。

然而，在查找移动分支时，并未考虑每一个移动分支在晶圆清洗设备的产能方面的优劣、每一个移动分支在对物料进行处理之后物料的工艺精度方面的优劣，只要一个移动分支符合在执行之后不会出现死锁情况，即可停止查找，将符合在执行之后不会出现死锁情况作为可执行移动分支。相应的，也不会在晶圆清洗设备的产能方面或在对物料进行处理之后物料的工艺精度方面对移动分支进行排序，然后，挑选较优的移动分支。

调度过程是频繁进行的，可能出现在大量的调度过程中选择出的最终执行的可执行移动分支均不是在产能方面较优的移动分支或在对物料进行处理之后物料的工艺精度方面较优的移动分支。因此，如何在对晶圆清洗设备中的机械手进行调度的过程中选择出较优的移动分支成为一个亟待解决的问题。

发明内容

为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种晶圆清洗设备中的工艺调度方法、装置。

根据本申请实施例的第一方面，提供一种晶圆清洗设备中的工艺调度方法，包括：

生成可行移动集合，其中，所述可行移动集合包括当前所述晶圆清洗设备中每一个机械手的所有可行移动；

基于所述可行移动集合，生成多个移动分支，构成第一分支集合，其中，所述移动分支包括：多个所述可行移动，所述移动分支中每一个可行移动所属的机械手不同；

采用预设的第一排序方式对所述第一分支集合中的所有移动分支进行排序，得到经过排序的第一分支集合，其中，所述第一排序方式包括：按照与移动分支相关的物料的恢复时间以由小至大的顺序进行排序或按照与移动分支相关的物料的安全驻留时长以由小至大的顺序进行排序；

依次访问所述经过排序的第一分支集合中的每一个移动分支，查找满足预设的可执行条件的移动分支，所述可执行条件包括：执行移动分支之后所述晶圆清洗设备不处于死锁状态、执行移动分支之后处于危险工艺槽中的物料不处于过泡状态；

在查找到满足所述可执行条件的移动分支时，停止访问其他移动分支，判断执行该移动分支后，所述晶圆清洗设备中的全部物料是否均处于安全位置，若否，则存储该移动分支，虚拟执行该移动分支后返回所述生成可行移动集合的步骤，若是，则存储该移动分支，按存储次序将该移动分支和已存储的移动分支组成调度移动序列，并输出所述调度移动序列。

根据本申请实施例的第二方面，提供一种晶圆清洗设备中的工艺调度装置，包括：

第一生成单元，被配置为生成可行移动集合，其中，所述可行移动集合包括当前所述晶圆清洗设备中每一个机械手的所有可行移动；