[发明专利]超声波感测装置

说明书

本发明提供一种超声波感测装置适于设置在终端设备的平板层下方。超声波感测装置包括支撑层以及压电层。支撑层包括腔体。压电层形成在支撑层上方或基板下方。压电层朝平板层发射平面超声波至位于平板层上方的手指，并且手指反射反射声波。反射声波通过压电层至支撑层，以使腔体接收反射声波。因此，本发明的超声波感测装置可取得具有图像对比度佳的超声波感测图像。

技术领域

本发明涉及一种感测设备，尤其涉及一种超声波感测装置。

背景技术

传统的超声波感测技术，大多单独采用压电式微加工超音波换能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT)架构来发射与接收超声波，或是单独采用电容式微加工超音波换能器(Capacitive Micromachined UltrasonicTransducer，CMUT)架构来发射与接收超声波。对此，传统的超声波感测技术由于具有超声波信号强度不足，因此存在较难穿透较硬、较厚或多层固体结构的问题，或者是由CMUT架构或PMUT架构所发射的超声波存在有球面波发散的缺点，而导致反射声波具有低信号噪声比(Signal Noise Ratio，SNR)以及图像对比度不佳的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种超声波感测装置，可具有良好的超声波感测效果。

根据本发明的实施例，本发明的超声波感测装置适于设置在终端设备的平板层下方。超声波感测装置包括支撑层以及压电层。支撑层包括腔体。压电层形成在支撑层上方或形成在支撑层下方。压电层朝平板层发射平面超声波至位于平板层上方的手指，并且手指反射反射声波。反射声波通过压电层至支撑层，以使腔体接收反射声波。

基于上述，本发明的超声波感测装置可通过压电层发射平面超声波至手指，并且通过腔体接收手指的反射声波，以取得具有图像对比度佳的超声波感测图像。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1A为本发明一实施例的超声波感测装置的示意图；

图1B为本发明另一实施例的超声波感测装置的示意图；

图2为本发明一实施例的超声波感测装置的发射端电路的示意图；

图3为本发明一实施例的超声波感测装置的接收端电路的示意图；

图4为本发明另一实施例的超声波感测装置的接收端电路的示意图。

附图标记说明

20:平板层；

30:手指；

100:超声波感测装置；

110:基板；

120:支撑层；

121～124:腔体；

121_1～124_1:第一金属层；

121_2～124_2:中间层；

121_3～124_3:第二金属层；

130:压电层；

131:第一电极层；

132:压电薄膜；

133:第二电极层；

140:黏着层；

200:发射端电路；

210:超音波发射器；

220、320、420:电源单元；