[发明专利]超声波感测装置

权利要求书

1.一种超声波感测装置，适于设置在终端设备的平板层下方，其特征在于，所述超声波感测装置包括：

支撑层，包括腔体；以及

压电层，形成在所述支撑层上方或者所述支撑层下方，

其中所述压电层朝所述平板层发射平面超声波至位于所述平板层上方的手指，并且所述手指反射反射声波，其中所述反射声波通过所述压电层至所述支撑层，以使所述腔体接收所述反射声波。

2.根据权利要求1所述的超声波感测装置，其特征在于，所述腔体包括平行设置的第一金属层以及第二金属层，并且所述第一金属层以及所述第二金属层之间具有中间层。

3.根据权利要求2所述的超声波感测装置，其特征在于，所述中间层为软性聚合物材料。

4.根据权利要求3所述的超声波感测装置，其特征在于，所述中间层的厚度为介于0.5微米至1微米之间。

5.根据权利要求2所述的超声波感测装置，其特征在于，所述中间层为流体或为真空。

6.根据权利要求5所述的超声波感测装置，其特征在于，所述流体为空气或液体。

7.根据权利要求5所述的超声波感测装置，其特征在于，所述中间层的厚度为介于50纳米至200纳米之间。

8.根据权利要求1所述的超声波感测装置，其特征在于，所述压电层包括平行设置的第一电极层以及第二电极层，并且所述第一电极层以及所述第二电极层之间具有压电薄膜。

9.根据权利要求1所述的超声波感测装置，其特征在于，所述平板层与所述压电层之间具有黏着层。

10.根据权利要求1所述的超声波感测装置，其特征在于，还包括：

薄膜晶体管电路基板，其中所述支撑层形成在所述薄膜晶体管电路基板上，并且所述压电层形成在所述支撑层上方或者所述薄膜晶体管电路基板下方。