[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有：

暂放单元，其临时放置框架单元，该框架单元是借助树脂片将被加工物支承于具有导电性的环状的框架而得的；

搬送单元，其将该框架单元搬送至该暂放单元；以及

加工单元，其对该框架单元的该被加工物进行加工，

其特征在于，

该暂放单元具有：

导电性的多个支承部，它们对该框架单元进行支承；以及

检测部，其具有电源和导通检测部，该电源的一个端子与该多个支承部中的第1支承部电连接，该导通检测部与该多个支承部中的第2支承部和该电源的另一个端子电连接，

当通过该第1支承部和该第2支承部对该框架进行支承时，形成包含该框架、该第1支承部和该第2支承部、该电源以及该导通检测部在内的导通电路。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

该暂放单元的该多个支承部是3个以上的支承销，

该3个以上的支承销对该框架的外周部在3处以上进行支承，将该框架单元定位于规定的位置。

3.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

该暂放单元的该多个支承部是对该框架进行支承的一对导轨。