[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组成物及所制保护膜和组件

权利要求书

1.一种化学增幅型正型感光性树脂组成物，包含：

一第一树脂(A1)，由一第一混合物共聚合而得，该第一混合物包含不饱和羧酸单体(a1-1)、含式(1)所示结构的含酸解离性基的单体(a1-2)以及含内酯结构的不饱和单体(a1-3)；

式(1)中，R₁₁和R₁₂各自独立为氢原子、烷基、脂环式烃基或芳基，其中所述烷基、脂环式烃基或芳基所具有的氢原子部分或全部被取代，且R₁₁及R₁₂不同时为氢原子；R₁₃为烷基、脂环式烃基、芳烷基或芳基，其中所述烷基、脂环式烃基、芳烷基及芳基所具有的氢原子部分或全部被取代；R₁₁与R₁₃可相互键结而与R₁₁所键结的碳原子以及R₁₃所键结的氧原子共同形成环状醚结构；

一第二树脂(A2)，由一第二混合物共聚合而得，该第二混合物包含不饱和羧酸单体(a2-1)、含式(2)所示结构的含酸解离性基的单体(a2-2)以及含酚羟基的不饱和单体(a2-3)；

式(2)中，R₂₁和R₂₂各自独立为氢原子、烷基、脂环式烃基或芳基，其中所述烷基、脂环式烃基或芳基所具有的氢原子部分或全部被取代，且R₂₁及R₂₂不同时为氢原子；R₂₃为烷基、脂环式烃基、芳烷基或芳基，其中所述烷基、脂环式烃基、芳烷基及芳基所具有的氢原子部分或全部被取代；R₂₁与R₂₃可相互键结而与R₂₁所键结的碳原子以及R₂₃所键结的氧原子共同形成环状醚结构；

一光酸产生剂(B)；以及

一溶剂(C)。

2.如权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其中，所述含内酯结构的不饱和单体(a1-3)为式(3)所示的化合物：

式(3)中，R^X1为氢原子或烷基；R^A2为碳数1至8的烷基、碳数3至7的环烷基、碳数1至8的烷氧基、碳数2至8的烷氧基羰基、羧基、卤素原子、羟基、氰基或酸解离性基，当n₂大于1时，多个R^A2相同或不同；A¹为单键或二价连结基；Z²为含有-O-C(＝O)-的单环或多环结构；n₂为0以上的整数。

3.如权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其中，所述含酚羟基的不饱和单体(a2-3)为式(4)所示的化合物：

式(4)中，R²²⁰为氢原子或甲基；R²²¹为单键或二价连结基；R²²²为卤素原子或碳数1至5的直链或分支链状烷基，当b大于1时，多个R²²²相同或不同；a为1至5的整数，b为0至4的整数，且a+b为5以下。

4.如权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其中，所述第一树脂(A1)的第一混合物另包含一式(5)所示的含硅原子的不饱和单体(a1-4)：

式(5)中，R₁为氢或甲基；R₇为碳数1至8的亚烷基；R₈为碳数1至4的烷基。