[发明专利]一种防磕碰晶舟单元

权利要求书

1.一种防磕碰晶舟单元，包括舟体(1)，其特征在于：所述舟体(1)上成型有左右方向设置的槽道(11)，槽道(11)的内壁上成型有多个线性均布的凸筋(12)，凸筋(12)的上端面上成型有两个对称设置的卡槽(13)，每个凸筋(12)上的两个卡槽(13)内套接有隔板(2)，隔板(2)的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起(21)；晶圆(9)插套在相邻两个隔板(2)的凸起(21)之间；

所述舟体(1)的左侧壁上成型有两个连接芯轴(14)；舟体(1)的右侧壁上成型有两个分别与两个连接芯轴(14)同轴心设置的连接孔(15)，连接芯轴(14)和连接孔(15)过渡配合设置。

2.根据权利要求1所述的一种防磕碰晶舟单元，其特征在于：所述卡槽(13)的上方设有挡条(3)，挡条(3)固定在舟体(1)上。

3.根据权利要求1所述的一种防磕碰晶舟单元，其特征在于：所述舟体(1)的侧壁上成型有沉孔(16)，沉孔(16)的底面上成型有连通沉孔(16)和对应的一个连接孔(15)的螺纹孔(17)，螺纹孔(17)内螺接有螺钉(4)，螺钉(4)的螺纹端部伸入到连接孔(15)内；

所述连接芯轴(14)的外壁上成型有与螺钉(4)的螺纹端部相配合的限位孔(18)。

4.根据权利要求1所述的一种防磕碰晶舟单元，其特征在于：所述隔板(2)的左侧壁和右侧壁上的凸起(21)错开设置。

5.根据权利要求1所述的一种防磕碰晶舟单元，其特征在于：所述凸起(21)呈半球体。