[发明专利]一种负压吸附式转移晶舟

说明书

本发明公开了一种负压吸附式转移晶舟，包括舟体，所述舟体上成型有半圆槽道、设置在半圆槽道下方的真空腔、连通半圆槽道与真空腔的多个线性均布的矩形孔，半圆槽道内设有多个左右方向均布的隔离板，所述隔离板包括固定连接的基板和吸附板，基板和吸附板形成一个负压腔和一个向下凸起的矩形管，矩形管与负压腔相通，所述矩形管插套并固定在矩形孔内，所述吸附板上成型有多个与负压腔相通的吸附孔；所述舟体上成型有负压接头，负压接头与真空腔相通。本发明可以将晶圆吸附在隔离板的同一侧面上，可避免相邻两个晶圆之间发生碰撞，可有效避免晶圆在转移过程中的磕碰、破损。

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种负压吸附式转移晶舟。

背景技术

现有的一种晶舟一般设置有多个平行排列的卡槽，晶圆插套在卡槽内。然而，这种晶圆的存放方式，在晶圆的传送或加工的过程中相邻两个晶圆件常常会发生碰撞现象，引发晶圆的边缘区域产生缺陷的问题。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种负压吸附式转移晶舟，它可以将晶圆吸附在隔离板的同一侧面上，可避免相邻两个晶圆之间发生碰撞，可有效避免晶圆在转移过程中的磕碰、破损。

本发明解决所述技术问题的方案是：

一种负压吸附式转移晶舟，包括舟体，所述舟体上成型有半圆槽道、设置在半圆槽道下方的真空腔、连通半圆槽道与真空腔的多个线性均布的矩形孔，半圆槽道内设有多个左右方向均布的隔离板，所述隔离板包括固定连接的基板和吸附板，基板和吸附板形成一个负压腔和一个向下凸起的矩形管，矩形管与负压腔相通，所述矩形管插套并固定在矩形孔内，所述吸附板上成型有多个与负压腔相通的吸附孔；

所述舟体上成型有负压接头，负压接头与真空腔相通。

所述负压腔内设有支撑辐条，支撑辐条的一侧压靠在吸附板上，支撑辐条的另一侧固定在基板上。

所述基板的外缘上成型有凸缘，吸附板固定在凸缘上，所述吸附板上固定有两个定位凸条，定位凸条压靠在凸缘的内壁上。

所述半圆槽道的两侧端面上成型有多对对称设置的卡槽；所述基板的外壁上固定有一对对称设置的卡板，每对卡板插套在对应的一对卡槽内。

所述卡槽上固定有卡板挡条，卡板的上端压靠在卡板挡条上。

所述基板的外壁上还固定有一对加强插板，加强插板插套在半圆槽道上的插孔内。

本发明的突出效果是：与现有技术相比，其可以将晶圆吸附在隔离板的同一侧面上，可避免相邻两个晶圆之间发生碰撞，可有效避免晶圆在转移过程中的磕碰、破损。

附图说明

图1为本发明的结构示意图(图中隐去部分隔离板)；

图2为本发明的左视图；

图3为本发明的右视方向的剖视图；

图4为本发明的基板的结构示意图；

图5为本发明的吸附板的结构示意图。

具体实施方式

实施例，见如图1至图5所示，一种负压吸附式转移晶舟，包括舟体1，所述舟体1上成型有半圆槽道11、设置在半圆槽道11下方的真空腔12、连通半圆槽道11与真空腔12的多个线性均布的矩形孔13，半圆槽道11内设有多个左右方向均布的隔离板2，所述隔离板2包括固定连接的基板21和吸附板22，基板21和吸附板22形成一个负压腔201和一个向下凸起的矩形管202，矩形管202与负压腔201相通，所述矩形管202插套并固定在矩形孔13内，所述吸附板22上成型有多个与负压腔201相通的吸附孔203；

所述舟体1上成型有负压接头14，负压接头14与真空腔12相通。