[发明专利]一种负压吸附式转移晶舟

权利要求书

1.一种负压吸附式转移晶舟，包括舟体(1)，其特征在于：所述舟体(1)上成型有半圆槽道(11)、设置在半圆槽道(11)下方的真空腔(12)、连通半圆槽道(11)与真空腔(12)的多个线性均布的矩形孔(13)，半圆槽道(11)内设有多个左右方向均布的隔离板(2)，所述隔离板(2)包括固定连接的基板(21)和吸附板(22)，基板(21)和吸附板(22)形成一个负压腔(201)和一个向下凸起的矩形管(202)，矩形管(202)与负压腔(201)相通，所述矩形管(202)插套并固定在矩形孔(13)内，所述吸附板(22)上成型有多个与负压腔(201)相通的吸附孔(203)；

所述舟体(1)上成型有负压接头(14)，负压接头(14)与真空腔(12)相通。

2.根据权利要求1所述的一种负压吸附式转移晶舟，其特征在于：所述负压腔(201)内设有支撑辐条(23)，支撑辐条(23)的一侧压靠在吸附板(22)上，支撑辐条(23)的另一侧固定在基板(21)上。

3.根据权利要求1所述的一种负压吸附式转移晶舟，其特征在于：所述基板(21)的外缘上成型有凸缘(211)，吸附板(22)固定在凸缘(211)上，所述吸附板(22)上固定有两个定位凸条(24)，定位凸条(24)压靠在凸缘(211)的内壁上。

4.根据权利要求1所述的一种负压吸附式转移晶舟，其特征在于：所述半圆槽道(11)的两侧端面上成型有多对对称设置的卡槽(15)；所述基板(21)的外壁上固定有一对对称设置的卡板(25)，每对卡板(25)插套在对应的一对卡槽(15)内。

5.根据权利要求4所述的一种负压吸附式转移晶舟，其特征在于：所述卡槽(15)上固定有卡板挡条(3)，卡板(25)的上端压靠在卡板挡条(3)上。

6.根据权利要求4所述的一种负压吸附式转移晶舟，其特征在于：所述基板(21)的外壁上还固定有一对加强插板(26)，加强插板(26)插套在半圆槽道(11)上的插孔(16)内。