[发明专利]一种柔性挤压式转移晶舟

权利要求书

1.一种柔性挤压式转移晶舟，包括舟体(1)，其特征在于：所述舟体(1)上成型有半圆槽道(11)、设置在半圆槽道(11)下方的高压腔(12)、连通半圆槽道(11)与高压腔(12)的多个线性均布的矩形孔(13)，半圆槽道(11)内设有多个左右方向均布的隔离板(2)，所述隔离板(2)包括固定连接的柔性压板(21)和刚性支撑板(22)，柔性压板(21)和刚性支撑板(22)形成一个过渡腔(201)和一个向下凸起的矩形管(202)，矩形管(202)与过渡腔(201)相通，所述矩形管(202)插套并固定在矩形孔(13)内，所述柔性压板(21)上成型有多个与过渡腔(201)相通的通孔(203)，通孔(203)内固定有弹性膜(23)；

所述舟体(1)上成型有与高压腔(12)相通的进出气孔(14)，进出气孔(14)内设有进气单向阀(3)。

2.根据权利要求1所述的一种柔性挤压式转移晶舟，其特征在于：所述矩形管(202)伸入到高压腔(12)的端部成型有左右方向设置的插孔(204)，插孔(204)插套在定位插杆(4)上，定位插杆(4)固定在高压腔(12)内。

3.根据权利要求1所述的一种柔性挤压式转移晶舟，其特征在于：所述高压腔(12)的右侧壁上成型有定位孔(15)，定位孔(15)的底面上成型有螺纹孔(16)，高压腔(12)的左侧壁上成型有定位通孔(17)；

所述插杆(4)的两端分别插套在定位孔(15)和定位通孔(17)内，插杆(4)的右端成型有螺杆(41)，螺杆(41)螺接在螺纹孔(16)上；所述插杆(4)的左端成型有六角沉孔(42)。

4.根据权利要求3所述的一种柔性挤压式转移晶舟，其特征在于：所述插杆(4)的左端与定位通孔(17)之间设有密封圈(5)。

5.根据权利要求3所述的一种柔性挤压式转移晶舟，其特征在于：所述六角沉孔(42)的底面上成型有第二螺纹孔(43)。

6.根据权利要求1所述的一种柔性挤压式转移晶舟，其特征在于：所述刚性支撑板(22)成型有多个向弹性膜(23)凸起的小凸台(24)。

7.根据权利要求1所述的一种柔性挤压式转移晶舟，其特征在于：所述进出气孔(14)包括由内而外一体成型的长孔(141)、内大外小设置的锥孔(142)、通气孔(143)和连接孔(144)；

所述进气单向阀(3)包括压靠在锥孔(142)内的顶珠(31)和固定在长孔(141)内端的支撑环(32)，支撑环(32)和顶珠(31)之间夹持有压簧(33)。