[发明专利]一种晶圆清洗设备

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括：

支撑台(1)，设有装卸支架(4)，所述装卸支架(4)适于接收晶圆；

喷淋管(2)，转动安装在支撑台(1)上，并设于装卸支架(4)一侧，所述喷淋管(2)适于连接水源，所述喷淋管(2)上表面具有上出水孔，下表面具有下出水孔；

所述喷淋管(2)具有通过下出水孔对所述晶圆的上表面进行喷淋的第一位置，以及在转动后深入到所述晶圆下方，通过上出水孔对所述晶圆的下表面进行喷淋操作的第二位置；

抛光头(3)携带晶圆想要将晶圆放置在装卸支架(4)上时，先使喷淋管(2)处于第二位置，通过上出水孔对晶圆的下表面进行喷淋；装卸支架(4)接收晶圆后，喷淋管(2)下移至第一位置，通过下出水孔对晶圆的上表面进行喷淋。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备，其特征在于，还包括：安装支架(6)，固定安装在支撑台(1)的下方，所述安装支架(6)上设置有连接支架(12)，所述喷淋管(2)设置在所述连接支架(12)上并可相对所述安装支架(6)进行转动。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗设备，其特征在于，还包括：升降装置(7)，设置在所述安装支架(6)上，所述升降装置(7)的活动端连接在所述连接支架(12)上。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述升降装置(7)为气缸。

5.根据权利要求3所述的晶圆清洗设备，其特征在于，还包括转动装置，所述转动装置设置在所述连接支架(12)上，适于驱动所述喷淋管(2)进行转动。

6.根据权利要求5所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述转动装置包括：

驱动电机(9)，与连接支架(12)固定连接，所述驱动电机(9)的驱动端与管路(5)径向固定连接；

传动件，作用在所述驱动电机(9)与所述喷淋管(2)之间。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述传动件包括：

设置在所述驱动电机(9)的驱动端的主动带轮(8)；

设置在所述喷淋管(2)的管路(5)上的从动带轮(10)；以及

连接在所述主动带轮(8)与所述从动带轮(10)之间的皮带。

8.根据权利要求6或7所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述驱动电机(9)通信连接有控制器。

9.根据权利要求1－7任一项所述的晶圆清洗设备，其特征在于，还包括：超声波发生装置(11)，适于为所述喷淋管(2)提供带声波的水。

10.根据权利要求1－7任一项所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述喷淋管(2)的长度大于晶圆的直径。

11.根据权利要求8所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述上出水孔和下出水孔均设有电磁阀，电磁阀与控制器通信连接。