[发明专利]真空除静电系统

权利要求书

1.一种真空除静电系统，用于消除真空作业腔室中的静电，其特征在于：包括

除静电装置，与真空作业腔室密封连接，所述除静电装置包括真空光源，所述真空光源产生的光线直接照射所述真空作业腔室内并在其中生成离子；

自动遮挡装置，与真空作业腔室密封连接，所述自动遮挡装置包括遮光部及驱动机构，所述遮光部设于光线形成的光路上，所述驱动机构自动控制所述遮光部将光路打开或关闭。

2.如权利要求1所述的真空除静电系统，其特征在于：所述驱动机构包括固定座、可相对于固定座转动的轴部、将轴部与固定座密封连接的密封部，所述轴部的一端突伸出所述固定座，所述遮光部设于所述轴部的一端并在所述轴部的带动下转动。

3.如权利要求2所述的真空除静电系统，其特征在于：所述固定座包括相互连接的气缸座及密封座，所述轴部包括气缸轴及与所述气缸轴同轴连接的输出轴，所述输出轴的一端突伸出所述密封座，所述遮光部安装于输出轴的一端。

4.如权利要求1所述的真空除静电系统，其特征在于：所述驱动机构包括气缸组件及密封组件，所述气缸组件包括气缸座及气缸轴，所述密封组件包括密封座、输出轴及设于所述输出轴与密封座之间的密封部，所述输出轴与气缸轴同轴连接，所述输出轴的一端突伸出所述密封座，所述遮光部安装于输出轴的一端。

5.如权利要求3或4所述的真空除静电系统，其特征在于：所述密封部为磁流体组件，所述磁流体组件设于所述输出轴与密封座之间，以对输出轴进行密封，所述遮光部为挡板，所述挡板的一侧边缘与所述输出轴的一端固定连接，所述气缸轴的转动范围为0°至95°。

6.如权利要求3或4任一项所述的真空除静电系统，其特征在于：所述真空除静电系统还包括连接装置，所述连接装置包括圆筒状本体、设于圆筒状本体两端的第一开口部及第二开口部以及设于圆筒状本体侧壁的第三开口部，所述圆筒状内部形成连接腔，所述除静电装置通过第一开口部与所述连接装置密封连接，所述自动遮挡装置通过所述第三开口部与所述连接装置密封连接，所述真空作业腔室通过所述第二开口部与所述连接装置密封连接，所述真空光源产生的光线通过所述连接腔照进所述真空作业腔室内。

7.如权利要求6所述的真空除静电系统，其特征在于：所述第一开口部包括第一开口及第一开口外侧的第一法兰，所述连接装置还包括设于第一开口部与真空光源之间的子连接件，所述子连接件的一端与所述真空光源螺纹密封配合，另一端与第一法兰密封连接。

8.如权利要求6所述的真空除静电系统，其特征在于：所述第二开口部包括第二开口及第二开口外侧的第二法兰，所述真空作业腔室设有第四开口及第四法兰，所述第二法兰与所述第四法兰密封配合。

9.如权利要求6所述的真空除静电系统，其特征在于：所述第三开口部包括第三开口及围设于第三开口外的筒部，所述密封座的一端外周设有螺纹部，所述筒部内侧设有与所述螺纹部密封配合的内螺纹，所述输出轴的一端穿过所述第三开口部伸入所述连接腔内，并带动所述遮光部在所述连接腔内转动。

10.如权利要求7所述的真空除静电系统，其特征在于：所述除静电装置为真空紫外离子发生器，所述真空光源为紫外灯，所述紫外灯产生的紫外线波长范围为110nm-400nm；所述自动遮挡装置还包括控制部，所述控制部与所述驱动机构信号连接，所述控制部根据所述真空作业腔室中的产品位置控制所述遮光部将光路打开或关闭。